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    赵明亮, 邢思雨, 唐雯, 张钰如, 高飞, 王友年

    Three-dimensional fluid simulation of a planar coil inductively coupled argon plasma source for semiconductor processes

    Zhao Ming-Liang, Xing Si-Yu, Tang Wen, Zhang Yu-Ru, Gao Fei, Wang You-Nian
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    出版历程
    • 收稿日期:2024-07-09
    • 修回日期:2024-08-31
    • 上网日期:2024-09-13
    • 刊出日期:2024-11-05

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