搜索

x

留言板

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

downloadPDF
引用本文:
Citation:

    赵明亮, 邢思雨, 唐雯, 张钰如, 高飞, 王友年

    Three-dimensional fluid simulation of a planar coil inductively coupled argon plasma source for semiconductor processes

    Zhao Ming-Liang, Xing Si-Yu, Tang Wen, Zhang Yu-Ru, Gao Fei, Wang You-Nian
    PDF
    HTML
    导出引用
    计量
    • 文章访问数:344
    • PDF下载量:23
    • 被引次数:0
    出版历程
    • 收稿日期:2024-07-09
    • 修回日期:2024-08-31
    • 上网日期:2024-09-13
    • 刊出日期:2024-11-05

      返回文章
      返回
        Baidu
        map