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    李桑丫, 张艾霖, 徐欣, 吕涛, 王世康, 罗箐

    Uniformity optimization of ion beam sputtering coating equipment based on strong current ion source

    Li Sang-Ya, Zhang Ai-Lin, Xu Xin, Lü Tao, Wang Shi-Kang, Luo Qing
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    出版历程
    • 收稿日期:2023-09-14
    • 修回日期:2023-11-22
    • 上网日期:2023-12-05
    • 刊出日期:2024-03-05

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