- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

容性耦合等离子体放电因在工业界有重要的应用价值而受到广泛关注. 对于容性耦合等离子体放电的研究主要集中于对等离子体参数的控制, 以实现更好的工艺效果, 例如高深宽比刻蚀等. 而关于等离子体参数的调控主要分为气体、腔室以及源这三个方面. 改变这些外部参数, 可以直接影响鞘层的动力学过程以及带电粒子的加热过程, 进而实现对电子和离子能量、通量, 等离子体均匀性, 中性基团的密度等的控制, 最终提高工艺质量和生产效率. 本文梳理了近些年容性耦合等离子体研究的几个主要方向, 尤其对等离子体放电中非常基础且重要的电子加热动力学问题进行了详尽的讨论, 并重点介绍了一些通过外部放电参数调控容性耦合等离子体放电的手段和相关的研究热点.

关键词:

Abstract

Capacitively coupled plasma (CCP) has gain wide attention due to its important applications in industry. The researches of CCP mainly focus on the discharge characteristics and plasma parameters under different discharge conditions to obtain a good understanding of the discharge, find good methods of controlling the charged particle properties, and improve the process performance and efficiency. The controlling of plasma parameters is based on the following three aspects: gas, chamber, and power source. Changing these discharge conditions can directly influence the sheath dynamics and the charged particle heating process, which can further influence the electron and ion distribution functions, the plasma uniformity, and the production of neutral particles, etc. Based on a review of the recent years’ researches of CCP, the electron heating dynamics and several common methods of controlling the plasma parameters, i.e. voltage waveform tailoring, realistic secondary electron emission, and magnetized capacitively coupled plasma are introduced and discussed in detail in this work.

Keywords:

作者及机构信息

1.
2.
3.

通信作者:宋远红,songyh@dlut.edu.cn

基金项目:国家自然科学基金(批准号: 12020101005, 11975067)和国家留学基金管理委员会(批准号: 201906060024)资助的课题

Authors and contacts

1.
2.
3.

Corresponding author:Song Yuan-Hong,songyh@dlut.edu.cn

Funds:Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 12020101005, 11975067) and the China Scholarship Council (Grant No. 201906060024)

文章全文: translate this paragraph

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
[31]
[32]
[33]
[34]
[35]
[36]
[37]
[38]
[39]
[40]
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
[51]
[52]
[53]
[54]
[55]
[56]
[57]
[58]
[59]
[60]
[61]
[62]
[63]
[64]
[65]
[66]
[67]
[68]
[69]
[70]
[71]
[72]
[73]
[74]
[75]
[76]
[77]
[78]
[79]
[80]
[81]
[82]
[83]
[84]
[85]
[86]
[87]
[88]
[89]
[90]
[91]
[92]
[93]
[94]
[95]
[96]
[97]
[98]
[99]
[100]
[101]
[102]
[103]
[104]
[105]
[106]
[107]
[108]
[109]
[110]
[111]
[112]
[113]
[114]
[115]
[116]
[117]
[118]
[119]
[120]
[121]
[122]
[123]
[124]
[125]
[126]
[127]
[128]
[129]
[130]
[131]
[132]
[133]
[134]
[135]
[136]
[137]
[138]
[139]
[140]

施引文献

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

下载: 全尺寸图片幻灯片

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
[31]
[32]
[33]
[34]
[35]
[36]
[37]
[38]
[39]
[40]
[41]
[42]
[43]
[44]
[45]
[46]
[47]
[48]
[49]
[50]
[51]
[52]
[53]
[54]
[55]
[56]
[57]
[58]
[59]
[60]
[61]
[62]
[63]
[64]
[65]
[66]
[67]
[68]
[69]
[70]
[71]
[72]
[73]
[74]
[75]
[76]
[77]
[78]
[79]
[80]
[81]
[82]
[83]
[84]
[85]
[86]
[87]
[88]
[89]
[90]
[91]
[92]
[93]
[94]
[95]
[96]
[97]
[98]
[99]
[100]
[101]
[102]
[103]
[104]
[105]
[106]
[107]
[108]
[109]
[110]
[111]
[112]
[113]
[114]
[115]
[116]
[117]
[118]
[119]
[120]
[121]
[122]
[123]
[124]
[125]
[126]
[127]
[128]
[129]
[130]
[131]
[132]
[133]
[134]
[135]
[136]
[137]
[138]
[139]
[140]

[1]	段蒙悦, 贾文柱, 张莹莹, 张逸凡, 宋远红.容性耦合硅烷等离子体尘埃颗粒空间分布的二维流体模拟. 必威体育下载 , 2023, 72(16): 165202.doi:10.7498/aps.72.20230686
[2]	宋柳琴, 贾文柱, 董婉, 张逸凡, 戴忠玲, 宋远红.容性耦合放电等离子体增强氧化硅薄膜沉积模拟研究. 必威体育下载 , 2022, 71(17): 170201.doi:10.7498/aps.71.20220493
[3]	操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 卢曼婷, 辛煜.射频容性耦合Ar/O₂等离子体的轴向诊断. 必威体育下载 , 2021, 70(11): 115204.doi:10.7498/aps.70.20202113
[4]	周瑜, 操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 辛煜.脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断. 必威体育下载 , 2020, 69(8): 085201.doi:10.7498/aps.69.20191864
[5]	胡艳婷, 张钰如, 宋远红, 王友年.相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响. 必威体育下载 , 2018, 67(22): 225203.doi:10.7498/aps.67.20181400
[6]	王俊, 王涛, 唐成双, 辛煜.甚高频激发容性耦合氩等离子体的电子能量分布函数的演变. 必威体育下载 , 2016, 65(5): 055203.doi:10.7498/aps.65.055203
[7]	郝莹莹, 孟秀兰, 姚福宝, 赵国明, 王敬, 张连珠.N2-H2容性耦合等离子体电非对称效应的particle-in-cell/Monte Carlo模拟. 必威体育下载 , 2014, 63(18): 185205.doi:10.7498/aps.63.185205
[8]	王建伟, 宋亦旭, 任天令, 李进春, 褚国亮.F等离子体刻蚀Si中Lag效应的分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2013, 62(24): 245202.doi:10.7498/aps.62.245202
[9]	杜永权, 刘文耀, 朱爱民, 李小松, 赵天亮, 刘永新, 高飞, 徐勇, 王友年.双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断. 必威体育下载 , 2013, 62(20): 205208.doi:10.7498/aps.62.205208
[10]	邹帅, 唐中华, 吉亮亮, 苏晓东, 辛煜.悬浮型微波共振探针在电负性容性耦合等离子体中电子密度的测量. 必威体育下载 , 2012, 61(7): 075204.doi:10.7498/aps.61.075204
[11]	李沛娟, 周薇薇, 唐元昊, 张华, 施思齐.CeO2的电子结构，光学和晶格动力学性质：第一性原理研究. 必威体育下载 , 2010, 59(5): 3426-3431.doi:10.7498/aps.59.3426
[12]	陈宇辉, 王阳, 左方圆, 赖天树, 吴谊群.半金属锑薄膜中电子动力学研究. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 3548-3552.doi:10.7498/aps.58.3548
[13]	杨涓, 许映乔, 朱良明.局域环境中微波等离子体电子密度诊断实验研究. 必威体育下载 , 2008, 57(3): 1788-1791.doi:10.7498/aps.57.1788
[14]	谭世杰, 郑坚.不同加热机制产生的超热电子的相干渡越辐射谐波研究. 必威体育下载 , 2007, 56(12): 7132-7137.doi:10.7498/aps.56.7132
[15]	郝作强, 俞进, 张杰, 远晓辉, 郑志远, 杨辉, 王兆华, 令维军, 魏志义.用声学诊断方法测量激光等离子体通道的长度与电子密度. 必威体育下载 , 2005, 54(3): 1290-1294.doi:10.7498/aps.54.1290
[16]	夏江帆, 张军, 张杰.用激光等离子体实验对天体物理动力学过程进行模拟的可行性研究. 必威体育下载 , 2001, 50(5): 994-1000.doi:10.7498/aps.50.994
[17]	刘明海, 胡希伟, 邬钦崇, 俞国扬.电子回旋共振等离子体源的数值模拟. 必威体育下载 , 2000, 49(3): 497-501.doi:10.7498/aps.49.497
[18]	黄文忠, 张覃鑫, 何绍堂, 谷渝秋, 尤永录, 江文勉.利用类铜离子谱线诊断银等离子体电子密度. 必威体育下载 , 1995, 44(11): 1783-1787.doi:10.7498/aps.44.1783
[19]	关维恕, 王恩耀, 程仕清, 段淑云, 王纪海, 顾彪, 尚振奎.电子迥旋加热等离子体及热电子环特性的实验研究. 必威体育下载 , 1989, 38(2): 228-235.doi:10.7498/aps.38.228
[20]	陈雁萍, 周玉美.弱相对论性非热平衡等离子体的电子迴旋共振加热. 必威体育下载 , 1984, 33(7): 1050-1057.doi:10.7498/aps.33.1050

计量

文章访问数:8055
PDF下载量:318
被引次数:0

搜索

留言板