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    周瑜, 操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 辛煜

    Diagnosis of capacitively coupled plasma driven by pulse-modulated 27.12 MHz by using an emissive probe

    Zhou Yu, Cao Li-Yang, Ma Xiao-Ping, Deng Li-Li, Xin Yu
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    出版历程
    • 收稿日期:2019-12-09
    • 修回日期:2020-01-30
    • 刊出日期:2020-04-20

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