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    崔岁寒, 吴忠振, 肖舒, 刘亮亮, 郑博聪, 林海, 傅劲裕, 田修波, 朱剑豪, 谭文长, 潘锋

    Electromagnetic control and optimization of high power impulse magnetron sputtering discharges in cylindrical source

    Cui Sui-Han, Wu Zhong-Zhen, Xiao Shu, Liu Liang-Liang, Zheng Bo-Cong, Lin Hai, Ricky K Y Fu, Tian Xiu-Bo, Paul K, Tan Wen-Chang, Pan Feng
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    出版历程
    • 收稿日期:2016-11-04
    • 修回日期:2017-02-06
    • 刊出日期:2017-05-05

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