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贺寅竹, 赵世杰, 尉昊赟, 李岩

Traceable trans-scale heterodyne interferometer with subnanometer resolution

He Yin-Zhu, Zhao Shi-Jie, Wei Hao-Yun, Li Yan
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出版历程
  • 收稿日期:2016-11-11
  • 修回日期:2016-12-23
  • 刊出日期:2017-03-05

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