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    王俊, 王涛, 唐成双, 辛煜

    Evolution of electron energy distribution function in capacitively coupled argon plasma driven by very high frequency

    Wang Jun, Wang Tao, Tang Cheng-Shuang, Xin Yu
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    出版历程
    • 收稿日期:2015-09-01
    • 修回日期:2015-11-27
    • 刊出日期:2016-03-05

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