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    李江, 唐敬友, 裴旺, 魏贤华, 黄峰

    Accurate determination of thickness values and optical constants of absorbing thin films on opaque substrates with spectroscopic ellipsometry

    Li Jiang, Tang Jing-You, Pei Wang, Wei Xian-Hua, Huang Feng
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    出版历程
    • 收稿日期:2014-09-21
    • 修回日期:2015-01-14
    • 刊出日期:2015-06-05

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