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吴忠振, 田修波, 潘锋, Ricky K. Y. Fu, 朱剑豪

Enhanced discharge of high power pulsed magnetron sputtering coupling with high voltage

Wu Zhong-Zhen, Tian Xiu-Bo, Pan Feng, Ricky K. Y. Fu, Paul K. Chu
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出版历程
  • 收稿日期:2014-03-25
  • 修回日期:2014-05-13
  • 刊出日期:2014-09-05

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