[1] |
高剑英, 李玉阁, 雷明凯.深振荡磁控溅射放电等离子体脉冲特性. 必威体育下载 , 2024, 73(16): 165201.doi:10.7498/aps.73.20240364 |
[2] |
李体军, 崔岁寒, 刘亮亮, 李晓渊, 吴忠灿, 马正永, 傅劲裕, 田修波, 朱剑豪, 吴忠振.筒形溅射阴极的磁场优化及其高功率放电特性研究. 必威体育下载 , 2021, 70(4): 045202.doi:10.7498/aps.70.20201540 |
[3] |
陈畅子, 马东林, 李延涛, 冷永祥.高功率脉冲磁控溅射钛靶材的放电模型及等离子特性. 必威体育下载 , 2021, 70(18): 180701.doi:10.7498/aps.70.20202050 |
[4] |
张云刚, 刘黄韬, 高强, 朱志峰, 李博, 王永达.飞秒激光引导高压放电下的SF6等离子体时间分辨光谱特性. 必威体育下载 , 2020, 69(18): 185201.doi:10.7498/aps.69.20200636 |
[5] |
周瑜, 操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 辛煜.脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断. 必威体育下载 , 2020, 69(8): 085201.doi:10.7498/aps.69.20191864 |
[6] |
沈永青, 张志强, 廖斌, 吴先映, 张旭, 华青松, 鲍曼雨.高功率脉冲磁控溅射技术制备掺氮类金刚石薄膜的磨蚀性能. 必威体育下载 , 2020, 69(10): 108101.doi:10.7498/aps.69.20200021 |
[7] |
崔岁寒, 吴忠振, 肖舒, 陈磊, 李体军, 刘亮亮, 傅劲裕, 田修波, 朱剑豪, 谭文长.外扩型电磁场控制筒形阴极内等离子体放电输运特性的仿真研究. 必威体育下载 , 2019, 68(19): 195204.doi:10.7498/aps.68.20190583 |
[8] |
崔岁寒, 吴忠振, 肖舒, 刘亮亮, 郑博聪, 林海, 傅劲裕, 田修波, 朱剑豪, 谭文长, 潘锋.筒内高功率脉冲磁控放电的电磁控制与优化. 必威体育下载 , 2017, 66(9): 095203.doi:10.7498/aps.66.095203 |
[9] |
肖舒, 吴忠振, 崔岁寒, 刘亮亮, 郑博聪, 林海, 傅劲裕, 田修波, 潘锋, 朱剑豪.筒形高功率脉冲磁控溅射源的开发与放电特性. 必威体育下载 , 2016, 65(18): 185202.doi:10.7498/aps.65.185202 |
[10] |
吴忠振, 田修波, 李春伟, Ricky K. Y. Fu, 潘锋, 朱剑豪.高功率脉冲磁控溅射的阶段性放电特征. 必威体育下载 , 2014, 63(17): 175201.doi:10.7498/aps.63.175201 |
[11] |
杜永权, 刘文耀, 朱爱民, 李小松, 赵天亮, 刘永新, 高飞, 徐勇, 王友年.双频容性耦合等离子体相分辨发射光谱诊断. 必威体育下载 , 2013, 62(20): 205208.doi:10.7498/aps.62.205208 |
[12] |
陈根余, 邓辉, 徐建波, 李宗根, 张玲.脉冲光纤激光修锐青铜金刚石砂轮等离子体特性研究. 必威体育下载 , 2013, 62(14): 144204.doi:10.7498/aps.62.144204 |
[13] |
苏元军, 徐军, 朱明, 范鹏辉, 董闯.利用等离子体辅助脉冲磁控溅射实现多晶硅薄膜的低温沉积. 必威体育下载 , 2012, 61(2): 028104.doi:10.7498/aps.61.028104 |
[14] |
刘院省, 刘世炳, 宋海英, 何润.脉冲激光-铜靶等离子体产生及其演化过程的瞬态光谱研究. 必威体育下载 , 2012, 61(4): 044204.doi:10.7498/aps.61.044204 |
[15] |
牟宗信, 牟晓东, 王春, 贾莉, 董闯.直流电源耦合高功率脉冲非平衡磁控溅射电离特性. 必威体育下载 , 2011, 60(1): 015204.doi:10.7498/aps.60.015204 |
[16] |
李阳平, 刘正堂.等离子体发射光谱诊断用于射频磁控溅射GaP薄膜的工艺参数优化. 必威体育下载 , 2009, 58(7): 5022-5028.doi:10.7498/aps.58.5022 |
[17] |
刘 峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜.感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究. 必威体育下载 , 2008, 57(3): 1796-1801.doi:10.7498/aps.57.1796 |
[18] |
李 勇, 孙成伟, 刘志文, 张庆瑜.磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究. 必威体育下载 , 2006, 55(8): 4232-4237.doi:10.7498/aps.55.4232 |
[19] |
黄 松, 辛 煜, 宁兆元.使用发射光谱对感应耦合CF4/CH4等离子体中C2基团形成机理的研究. 必威体育下载 , 2005, 54(4): 1653-1658.doi:10.7498/aps.54.1653 |
[20] |
陈 钢, 潘佰良, 姚志欣.气体脉冲放电等离子体阻抗的参量研究. 必威体育下载 , 2003, 52(7): 1635-1639.doi:10.7498/aps.52.1635 |