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    郝莹莹, 孟秀兰, 姚福宝, 赵国明, 王敬, 张连珠

    Simulations of electrical asymmetry effect on N2-H2 capacitively coupled plasma by particle-in-cell/Monte Carlo model

    Hao Ying-Ying, Meng Xiu-Lan, Yao Fu-Bao, Zhao Guo-Ming, Wang Jing, Zhang Lian-Zhu
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    出版历程
    • 收稿日期:2014-03-12
    • 修回日期:2014-05-07
    • 刊出日期:2014-09-05

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