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    吴忠振, 田修波, 李春伟, Ricky K. Y. Fu, 潘锋, 朱剑豪

    Phasic discharge characteristics in high power pulsed magnetron sputtering

    Wu Zhong-Zhen, Tian Xiu-Bo, Li Chun-Wei, Ricky K. Y., Fu, Pan Feng
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    出版历程
    • 收稿日期:2014-03-14
    • 修回日期:2014-03-31
    • 刊出日期:2014-09-05

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