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用磁控射频溅射法制备了FeCoAlON薄膜, 研究了Al-O和N元素的添加对FeCo合金薄膜的软磁性的影响. 研究结果表明: 随着Al, O, N元素添加量的增加, 薄膜微结构从多晶转化到纳米晶再转化到非晶态, 薄膜表现为软磁性; 在N的含量较高时, 薄膜呈现条形畴结构, 本文对条形畴结构出现的机理和条件作了详细讨论, 并发现具有条形畴结构的薄膜的磁导率频率特性具有多峰共振的特点.

关键词:

铁钴基合金/
薄膜/
条形畴

The FeCoAlON thin films were prepared by magnetron sputtering. Effect of element addition of Al, O, and N on magnetic materials was studied. Experiment demonstrated that with increasing Al, O and N, the film structure changed from polycrystalline to amorphous, and the films showed soft magnetism. When N content in the film is high, the films show stripe domain structure. The condition and mechanism for the occurrence of stripe domain structure were discussed in detail, and we found that the frequency response of permeability of the films show characteristics of multi-peak resonance.

Keywords:

作者及机构信息

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2.

基金项目:国家自然科学基金(批准号: 51171086, 61272076)资助的课题.

Authors and contacts

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2.

Funds:Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 51171086, 61272076).

参考文献

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