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    杜永权, 刘文耀, 朱爱民, 李小松, 赵天亮, 刘永新, 高飞, 徐勇, 王友年

    Phase resolved optical emission spectroscopy of dual frequency capacitively coupled plasma

    Du Yong-Quan, Liu Wen-Yao, Zhu Ai-Min, Li Xiao-Song, Zhao Tian-Liang, Liu Yong-Xin, Gao Fei, Xu Yong, Wang You-Nian
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    出版历程
    • 收稿日期:2013-03-20
    • 修回日期:2013-07-10
    • 刊出日期:2013-10-05

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