- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

采用射频等离子体辅助分子束外延技术生长得到了In组分精确可控且高质量的InxGa1-xN (x ≤ 0.2) 外延薄膜. 生长温度为580 ℃的In0.19Ga0.81N薄膜(10.2) 面非对称衍射峰的半高宽只有587弧秒, 背景电子浓度为3.96× 1018/cm3. 在富金属生长区域, Ga束流超过N的等效束流时, In组分不为零, 即Ga并没有全部并入外延层; 另外, 稍微增加In束流会降低InGaN的晶体质量.

关键词:

Abstract

Growth behaviors of InxGa1-xN (x ≤ 0.2) materials by plasma-assisted molecular beam epitaxy (PA-MBE) are investigated in detail. A precise control of the incorporation of indium into InxGa1-xN at a growth temperature of 580 ℃ is realized. The In0.19Ga0.81N shows a very narrow width of 587 arcsec for the (10.2) asymmetrical reflection from high-resolution X-ray diffraction and the background electronic concentration is 3.96× 1018 cm3. In the region of metal-rich growth, no negligible indium incorporation is observed even if the Ga beam flux is much larger than the equivalent N flux. This growth behavior might be ascribed to an incomplete Ga incorporation during InGaN growth. In addition, a slight increase of In flux results in crystalline quality degradation of InGaN epilayers.

Keywords:

作者及机构信息

1.
2.

Authors and contacts

1.
2.

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]

施引文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]

[1]	祝梦遥, 鲁军, 马佳淋, 李利霞, 王海龙, 潘东, 赵建华.高质量稀磁半导体(Ga, Mn)Sb单晶薄膜分子束外延生长. 必威体育下载 , 2015, 64(7): 077501.doi:10.7498/aps.64.077501
[2]	郭瑞花, 卢太平, 贾志刚, 尚林, 张华, 王蓉, 翟光美, 许并社.界面形核时间对GaN薄膜晶体质量的影响. 必威体育下载 , 2015, 64(12): 127305.doi:10.7498/aps.64.127305
[3]	蔚翠, 李佳, 刘庆彬, 蔡树军, 冯志红.Si面4H-SiC衬底上外延石墨烯近平衡态制备. 必威体育下载 , 2014, 63(3): 038102.doi:10.7498/aps.63.038102
[4]	苏少坚, 张东亮, 张广泽, 薛春来, 成步文, 王启明.Ge(001)衬底上分子束外延生长高质量的Ge1-xSnx合金. 必威体育下载 , 2013, 62(5): 058101.doi:10.7498/aps.62.058101
[5]	苏元军, 徐军, 朱明, 范鹏辉, 董闯.利用等离子体辅助脉冲磁控溅射实现多晶硅薄膜的低温沉积. 必威体育下载 , 2012, 61(2): 028104.doi:10.7498/aps.61.028104
[6]	胡懿彬, 郝智彪, 胡健楠, 钮浪, 汪莱, 罗毅.分子束外延生长InGaN/AlN量子点的组分研究. 必威体育下载 , 2012, 61(23): 237804.doi:10.7498/aps.61.237804
[7]	张燕辉, 陈平平, 李天信, 殷豪.GaAs(001)衬底上分子束外延生长InNSb单晶薄膜. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8026-8030.doi:10.7498/aps.59.8026
[8]	柯博, 汪磊, 倪添灵, 丁芳, 陈牧笛, 周海洋, 温晓辉, 朱晓东.电子回旋共振-射频双等离子体沉积氧化硅薄膜过程中的射频偏压效应. 必威体育下载 , 2010, 59(2): 1338-1343.doi:10.7498/aps.59.1338
[9]	刘峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜.感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究. 必威体育下载 , 2008, 57(3): 1796-1801.doi:10.7498/aps.57.1796
[10]	何萌, 刘国珍, 仇杰, 邢杰, 吕惠宾.用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜. 必威体育下载 , 2008, 57(2): 1236-1240.doi:10.7498/aps.57.1236
[11]	曹春芳, 吴惠桢, 斯剑霄, 徐天宁, 陈静, 沈文忠.分子束外延PbTe单晶薄膜的反常拉曼光谱研究. 必威体育下载 , 2006, 55(4): 2021-2026.doi:10.7498/aps.55.2021
[12]	彭冬生, 冯玉春, 王文欣, 刘晓峰, 施炜, 牛憨笨.一种外延生长高质量GaN薄膜的新方法. 必威体育下载 , 2006, 55(7): 3606-3610.doi:10.7498/aps.55.3606
[13]	刘乃鑫, 王怀兵, 刘建平, 牛南辉, 张念国, 李彤, 邢艳辉, 韩军, 郭霞, 沈光地.高空穴浓度Mg掺杂InGaN外延材料性能的研究. 必威体育下载 , 2006, 55(9): 4951-4955.doi:10.7498/aps.55.4951
[14]	王瑞敏, 陈光德, 竹有章.六方相InGaN外延膜的显微Raman散射. 必威体育下载 , 2006, 55(2): 914-919.doi:10.7498/aps.55.914
[15]	王庆学, 杨建荣, 孙涛, 魏彦锋, 方维政, 何力.Hg1－xCdxTe分子束外延薄膜晶格参数与组分关系的研究. 必威体育下载 , 2005, 54(8): 3726-3733.doi:10.7498/aps.54.3726
[16]	李宇杰, 张晓娜, 介万奇.Cd1-xZnxTe晶体退火条件的选择及Zn压对退火晶体质量的影响. 必威体育下载 , 2001, 50(12): 2327-2334.doi:10.7498/aps.50.2327
[17]	傅广生, 于威, 王淑芳, 李晓苇, 张连水, 韩理.辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜. 必威体育下载 , 2001, 50(11): 2263-2268.doi:10.7498/aps.50.2263
[18]	易新建, 李毅, 郝建华, 张新宇, G.K.WONG.分子束外延生长Sb薄膜及其量子尺寸效应. 必威体育下载 , 1998, 47(11): 1896-1899.doi:10.7498/aps.47.1896
[19]	李超荣, 朱爱军, 戴道扬, 麦振洪.SrTiO3基片的晶体质量及表面粗糙结构的X射线研究. 必威体育下载 , 1997, 46(9): 1758-1763.doi:10.7498/aps.46.1758
[20]	吕宏强, 王杰, 沈军, 刘咏, 王迅, 王昌平, 王建宝, 李晨, 沈孝良.衬底温度对热壁外延ZnSe薄膜质量的影响. 必威体育下载 , 1992, 41(8): 1308-1314.doi:10.7498/aps.41.1308

计量

文章访问数:6118
PDF下载量:667
被引次数:0

搜索

留言板

High-quality InGaN epilayers grown by PA-MBE and abnormal incorporation behavior of Indium into InGaN

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.
2.

Authors and contacts

1.
2.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

High-quality InGaN epilayers grown by PA-MBE and abnormal incorporation behavior of Indium into InGaN

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.2.

Authors and contacts

1.2.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

1.
2.

1.
2.