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摘要

CIGS薄膜的结晶相是制备高质量薄膜的关键问题. 本文采用共蒸发"三步法"工艺沉积Gu(In, Ga)Se2 (CIGS) 薄膜, 通过X射线衍射仪 (XRD) 和X射线荧光光谱仪 (XRF)、扫描电镜 (SEM) 结合的方法详细研究了"三步法"工艺的相变过程, 并制备出转换效率超过15% 的 CIGS 薄膜太阳电池.

关键词:

The Cu(In, Ga)Se2 (CIGS) phase transformation during the "three-stage" evaporation is the key problem for obtaining high-quality absorber. Cu(In, Ga)Se2 (CIGS) thin film has been prepared via co-evaporation "three-stage process". The phase transformation was studied by means of XRD, XRF (X-ray fluoroscopy) and SEM. And the efficiency above 15% of CIGS film solar cell was obtained succossfully.

Keywords:

作者及机构信息

1.

基金项目:国家自然科学基金 (批准号: 61144002) 资助的课题.

Authors and contacts

1.

Funds:Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant No. 61144002).

参考文献

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施引文献

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