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    沈向前, 谢泉, 肖清泉, 陈茜, 丰云

    Computer simulation of the glow discharge characteristics in magnetron sputtering

    Shen Xiang-Qian, Xie Quan, Xiao Qing-Quan, Chen Qian, Feng Yun
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    出版历程
    • 收稿日期:2011-06-23
    • 修回日期:2012-02-04
    • 刊出日期:2012-08-05

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