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摘要

利用表面等离子体共振效应理论及金属-介质复合膜的特殊纳米光学效应对平面多层膜超分辨光刻技术进行了研究. 在曝光光源为365 nm的情况下,实现周期230 nm,线宽100 nm的超分辨光刻成像. 讨论了均匀金属-介质多层膜的结构参数选择,并通过数值仿真得到有效的光强度和对比度, 然后用等离子体纳米光刻进行试验验证,通过最优化选择,最终得到了亚波长结构多层膜的大区域范围超分辨成像.

关键词:

Based on the theory of suface plasmon resonance and the special nano-optical effect of metal-dielectric composite, we study super-resolution photolithography using multilayer films. The main point is to use 365 nm exposal light to realize super-resolution imaging by using a mask with a period of 230 nm and linewidth of 100 nm. We discuss the selection of the parameters multi-film with equal thickness, and achieve a sufficient contrast and high intensity through numerical simulation, then verify the obtained results by the plasmon nanolithography technique. Choosing the best scheme, we achieve large-area super-resolution images with the subwavelength structure.

Keywords:

作者及机构信息

1.
2.

基金项目:国家重点基础研究发展计划(973计划)(批准号: 2011CB301800-G)、国际合作项目(批准号: 2011DFA63190)和微细加工光学技术国家重点实验室基金(批准号: 201101445)资助的课题.

Authors and contacts

1.
2.

Funds:Project supported by the National Basic Research Program of China (Grant No. 2011CB301800-G), the International Cooperation Project, China (Grand No. 2011DFA63190), and the State Key Laboratory Foundation for Micro-Fabrication Optical Technology of China (Grant No. 201101445).

参考文献

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施引文献

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