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随着电子技术、信息产业的发展, Cu在微型散热材料、电子封装材料上应用日益广泛. Cu在应用过程中存在强度低、易氧化、易磨损等缺点. 采用等离子体复合沉积技术, 在铜基体上制备了Ti/TiC/DLC功能梯度材料, 改善铜基体与美金刚石(DLC)膜的结合力, 强化了铜的机械性能. 瞬态热反射法检测结果表明, DLC功能梯度材料不会影响铜基体的散热效果.

关键词:

In recent years, with the rapid development of electronic technology and digital network information, copper has increasing applications in micro-electronics, micro-electro-mechanical systems and Hi-tech materials. However copper has its material limitations. In particular, it has relatively low hardness, high oxidation and wear rate, which have severely restricted its widespread applications. In this paper, aiming at difficulties of copper applications, Ti/TiC/DLC has been proposed as functionally graded material to deposit on the copper substrate with plasma depositing method, which intensifies the adhesion between DLC film and copper substrate and improves the properties of copper. The maximal value of thermal conductivity of DLC film with optimized parameter of graded intermediate layer is 3.63 Wm-1.K-1, which enhances the heat transfer effect of copper substrate.

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