- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

本文报道了利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射在温度300 ℃ 以下沉积氢化多晶硅薄膜的制备方法. 利用拉曼散射、X射线衍射、透射电子衍射和傅里叶红外光谱对多晶硅薄膜进行了表征. 详细研究了氢气在沉积过程中所起的作用, 并结合Langmuir探针和发射光谱等等离子体诊断方法, 对辅助等离子体源在多晶硅薄膜制备过程中所起到的作用进行了讨论.

关键词:

Hydrogenated poly-crystalline silicon thin films are deposited by inductively coupled plasma assisted pulsed dc twin magnetron sputtering at a temperature below 300 ℃. The samples are characterized by X-ray diffraction, Raman scattering, transmission electron microscopy, and Fourier transform infrared spectroscopy. The relationship between hydrogen dilution ratio and the characteristic of thin film is studied systematically. The mechanism of crystallization is discussed on the basis of the results of diagnosis of plasma by Langmuir probe and optical emission spectra.

Keywords:

作者及机构信息

1.
2.

基金项目:教育部科技创新工程重大项目培育资金项目(批准号: 707015)和辽宁省高等学校创新团队支持计划资助的课题.

Authors and contacts

1.
2.

Funds:Project supported by the Cultivation Fund of the Key Scientific and Technical Innovation Project, Ministry of Education of China (Grant No. 707015), and the University Innovative Research Team Project of Liaoning Province.

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
[31]
[32]
[33]
[34]
[35]

施引文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]
[26]
[27]
[28]
[29]
[30]
[31]
[32]
[33]
[34]
[35]

[1]	陈明, 周细应, 毛秀娟, 邵佳佳, 杨国良.外加磁场对射频磁控溅射制备铝掺杂氧化锌薄膜影响的研究. 必威体育下载 , 2014, 63(9): 098103.doi:10.7498/aps.63.098103
[2]	佟国香, 李毅, 王锋, 黄毅泽, 方宝英, 王晓华, 朱慧群, 梁倩, 严梦, 覃源, 丁杰, 陈少娟, 陈建坤, 郑鸿柱, 袁文瑞.磁控溅射制备W掺杂VO2/FTO复合薄膜及其性能分析. 必威体育下载 , 2013, 62(20): 208102.doi:10.7498/aps.62.208102
[3]	张传军, 邬云骅, 曹鸿, 高艳卿, 赵守仁, 王善力, 褚君浩.不同衬底和CdCl2退火对磁控溅射CdS薄膜性能的影响. 必威体育下载 , 2013, 62(15): 158107.doi:10.7498/aps.62.158107
[4]	江强, 毛秀娟, 周细应, 苌文龙, 邵佳佳, 陈明.外加磁场对磁控溅射制备氮化硅陷光薄膜的影响. 必威体育下载 , 2013, 62(11): 118103.doi:10.7498/aps.62.118103
[5]	杨铎, 钟宁, 尚海龙, 孙士阳, 李戈扬.磁控溅射(Ti, N)/Al纳米复合薄膜的微结构和力学性能. 必威体育下载 , 2013, 62(3): 036801.doi:10.7498/aps.62.036801
[6]	丁万昱, 王华林, 巨东英, 柴卫平.O2流量对磁控溅射N掺杂TiO2薄膜成分及晶体结构的影响. 必威体育下载 , 2011, 60(2): 028105.doi:10.7498/aps.60.028105
[7]	李林娜, 陈新亮, 王斐, 孙建, 张德坤, 耿新华, 赵颖.H2 气对脉冲磁控溅射铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响. 必威体育下载 , 2011, 60(6): 067304.doi:10.7498/aps.60.067304
[8]	曹月华, 狄国庆.磁控溅射制备Y2O3-TiO2薄膜形貌的研究. 必威体育下载 , 2011, 60(3): 037702.doi:10.7498/aps.60.037702
[9]	牟宗信, 牟晓东, 贾莉, 王春, 董闯.非平衡磁控溅射双势阱静电波动及其共振耦合. 必威体育下载 , 2010, 59(10): 7164-7169.doi:10.7498/aps.59.7164
[10]	丁万昱, 徐军, 陆文琪, 邓新绿, 董闯.微波ECR磁控溅射制备SiNx薄膜的XPS结构研究. 必威体育下载 , 2009, 58(6): 4109-4116.doi:10.7498/aps.58.4109
[11]	刘峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜.感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究. 必威体育下载 , 2008, 57(3): 1796-1801.doi:10.7498/aps.57.1796
[12]	于全芝, 李玉同, 蒋小华, 刘永刚, 王哲斌, 董全力, 刘峰, 张喆, 黄丽珍, C. Danson, D. Pepler, 丁永坤, 傅世年, 张杰.激光等离子体的电子温度对Thomson散射离子声波双峰的影响. 必威体育下载 , 2007, 56(1): 359-365.doi:10.7498/aps.56.359
[13]	张辉, 刘应书, 刘文海, 王宝义, 魏龙.基片温度与氧分压对磁控溅射制备氧化钒薄膜的影响. 必威体育下载 , 2007, 56(12): 7255-7261.doi:10.7498/aps.56.7255
[14]	刘志文, 谷建峰, 孙成伟, 张庆瑜.磁控溅射ZnO薄膜的成核机制及表面形貌演化动力学研究. 必威体育下载 , 2006, 55(4): 1965-1973.doi:10.7498/aps.55.1965
[15]	丁万昱, 徐军, 李艳琴, 朴勇, 高鹏, 邓新绿, 董闯.微波ECR等离子体增强磁控溅射制备SiNx薄膜及其性能分析. 必威体育下载 , 2006, 55(3): 1363-1368.doi:10.7498/aps.55.1363
[16]	牟宗信, 李国卿, 秦福文, 黄开玉, 车德良.非平衡磁控溅射系统离子束流磁镜效应模型. 必威体育下载 , 2005, 54(3): 1378-1384.doi:10.7498/aps.54.1378
[17]	周小莉, 杜丕一.磁控溅射法制备的CaCu3Ti4O12薄膜. 必威体育下载 , 2005, 54(4): 1809-1813.doi:10.7498/aps.54.1809
[18]	谢大弢, 赵夔, 王莉芳, 朱凤, 全胜文, 孟铁军, 张保澄, 陈佳洱.用磁控溅射和真空硒化退火方法制备高质量的铜铟硒多晶薄膜. 必威体育下载 , 2002, 51(6): 1377-1382.doi:10.7498/aps.51.1377
[19]	马平, 刘乐园, 张升原, 王昕, 谢飞翔, 邓鹏, 聂瑞娟, 王守证, 戴远东, 王福仁.直流磁控溅射一步法原位制备MgB2超导薄膜. 必威体育下载 , 2002, 51(2): 406-409.doi:10.7498/aps.51.406
[20]	张纪才, 戴伦, 秦国刚, 应丽贞, 赵新生.离子注入GaN的拉曼散射研究. 必威体育下载 , 2002, 51(3): 629-634.doi:10.7498/aps.51.629

计量

文章访问数:6784
PDF下载量:668
被引次数:0

搜索

留言板

Hydrogenated poly-crystalline silicon thin films deposited by inductively coupled plasma assisted pulsed dc twin magnetron sputtering

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.
2.

Authors and contacts

1.
2.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Hydrogenated poly-crystalline silicon thin films deposited by inductively coupled plasma assisted pulsed dc twin magnetron sputtering

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.2.

Authors and contacts

1.2.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

1.
2.

1.
2.