- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

本文采用分子动力学模拟方法研究了F原子(能量在0.5—15 eV之间)与表面温度为300 K的SiC(100)表面的相互作用过程. 考察了不同能量下稳定含F反应层的形成过程和沉积、刻蚀过程的关系以及稳定含F反应层对刻蚀的影响. 揭示了低能F原子刻蚀SiC的微观动力学过程. 模拟结果表明伴随着入射F原子在表面的沉积量达到饱和,SiC表面将形成一个稳定的含F反应层. 在入射能量小于6 eV时,反应层主要成分为SiF3,最表层为Si-F层. 入射能量大于6 eV时,反应层主要成分为SiF.

关键词:

分子动力学/
刻蚀/
能量/
SiC

Abstract

In this study, molecular dynamics simulations are used to investigate atom F interacting with SiC at 300 K. Simulation results show that with the saturation of the deposition of F atoms on the surface, the compositions (SiFx and CFx groups (x4 is dominant. And the main etching mechanism of Si atoms is chemical etching.

Keywords:

molecular dynamics/
etching/
energy/
SiC

作者及机构信息

基金项目:贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:700968101)和国际热核聚变实验堆(ITER)计划专项(批准号:2009GB104006)资助的课题.

Authors and contacts

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]

施引文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]

[1]	陈晶晶, 赵洪坡, 王葵, 占慧敏, 罗泽宇.SiC基底覆多层石墨烯力学强化性能分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2024, 73(10): 109601.doi:10.7498/aps.73.20232031
[2]	刘远峰, 李斌成, 赵斌兴, 刘红.SiC光学材料亚表面缺陷的光热辐射检测. 必威体育下载 , 2023, 72(2): 024208.doi:10.7498/aps.72.20221303
[3]	邓旭良, 冀先飞, 王德君, 黄玲琴.石墨烯过渡层对金属/SiC接触肖特基势垒调控的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2022, 71(5): 058102.doi:10.7498/aps.71.20211796
[4]	于子恒, 马春红, 白少先.SiC表面圆环槽边缘效应实验研究. 必威体育下载 , 2021, 70(4): 044702.doi:10.7498/aps.70.20201303
[5]	黄毅华, 江东亮, 张辉, 陈忠明, 黄政仁.Al掺杂6H-SiC的磁性研究与理论计算. 必威体育下载 , 2017, 66(1): 017501.doi:10.7498/aps.66.017501
[6]	李丽丽, Xia Zhen-Hai, 杨延清, 韩明.SiC纳米纤维/C/SiC复合材料拉伸行为的分子动力学研究. 必威体育下载 , 2015, 64(11): 117101.doi:10.7498/aps.64.117101
[7]	卢吴越, 张永平, 陈之战, 程越, 谈嘉慧, 石旺舟.不同退火方式对Ni/SiC接触界面性质的影响. 必威体育下载 , 2015, 64(6): 067303.doi:10.7498/aps.64.067303
[8]	王成龙, 王庆宇, 张跃, 李忠宇, 洪兵, 苏折, 董良.SiC/C界面辐照性能的分子动力学研究. 必威体育下载 , 2014, 63(15): 153402.doi:10.7498/aps.63.153402
[9]	杨帅, 汤晓燕, 张玉明, 宋庆文, 张义门.电荷失配对SiC半超结垂直双扩散金属氧化物半导体场效应管击穿电压的影响. 必威体育下载 , 2014, 63(20): 208501.doi:10.7498/aps.63.208501
[10]	王建伟, 宋亦旭, 任天令, 李进春, 褚国亮.F等离子体刻蚀Si中Lag效应的分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2013, 62(24): 245202.doi:10.7498/aps.62.245202
[11]	贺平逆, 宁建平, 秦尤敏, 赵成利, 苟富均.低能Cl原子刻蚀Si(100)表面的分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2011, 60(4): 045209.doi:10.7498/aps.60.045209
[12]	张云, 邵晓红, 王治强.3C-SiC材料p型掺杂的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2010, 59(8): 5652-5660.doi:10.7498/aps.59.5652
[13]	姜明, 苟富均, 闫安英, 张传武, 苗峰.BeO分子在不同方向外电场中的能量和光谱. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 7743-7748.doi:10.7498/aps.59.7743
[14]	马文, 祝文军, 张亚林, 陈开果, 邓小良, 经福谦.纳米多晶金属样本构建的分子动力学模拟研究. 必威体育下载 , 2010, 59(7): 4781-4787.doi:10.7498/aps.59.4781
[15]	宁建平, 吕晓丹, 赵成利, 秦尤敏, 贺平逆, Bogaerts A., 苟富君.样品温度对CF3+ 与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2010, 59(10): 7225-7231.doi:10.7498/aps.59.7225
[16]	黄维, 陈之战, 陈博源, 张静玉, 严成锋, 肖兵, 施尔畏.氢氟酸刻蚀对Ni/6H-SiC接触性质的作用. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 3443-3447.doi:10.7498/aps.58.3443
[17]	马格林, 张玉明, 张义门, 马仲发.SiC表面C 1s谱最优拟合参数的研究. 必威体育下载 , 2008, 57(7): 4125-4129.doi:10.7498/aps.57.4125
[18]	马格林, 张玉明, 张义门, 马仲发.SiC外延层表面化学态的研究. 必威体育下载 , 2008, 57(7): 4119-4124.doi:10.7498/aps.57.4119
[19]	郜锦侠, 张义门, 汤晓燕, 张玉明.C-V法提取SiC隐埋沟道MOSFET沟道载流子浓度. 必威体育下载 , 2006, 55(6): 2992-2996.doi:10.7498/aps.55.2992
[20]	尚也淳, 刘忠立, 王姝睿.SiC Schottky结反向特性的研究. 必威体育下载 , 2003, 52(1): 211-216.doi:10.7498/aps.52.211

计量

文章访问数:9018
PDF下载量:610
被引次数:0

搜索

留言板

Molecular dynamics simulations of energy effectson atorn F interaction with SiC(100)

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Molecular dynamics simulations of energy effectson atorn F interaction with SiC(100)

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们