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透射光栅广泛应用于软X射线能谱测量.为了获得用于惯性约束聚变研究的透射光栅的各级衍射效率及其他参数,在北京同步辐射源上200—1600 eV能量范围内对其进行了标定,获得了透射光栅衍射效率的实验结果.扩展了透射光栅衍射效率的计算方法,提出了7边准梯形截面衍射效率计算模型.分析拟合了实验数据,理论结果与实验结果很好符合.得到了7边准梯形的透射光栅栅线截面结构.

关键词:

Transmission grating is widely used in measurement of soft X rays. In order to measure the diffraction efficiencies of the transmission grating which is used in laser fusion, the transmission grating was calibrated on Beijing Synchrotron Radiation Facility in the energy region from 200eV to 1600eV, and the experimental results have been obtained. The model for grating efficiency simulation has been developed and calculations using a new so called 7-side quasi-trapezoidal cross section model were carried out. The results from the new model are in good agreement with the experimental data. The exact grating wire cross section is described.

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基金项目:国家高技术研究发展计划资助的课题.

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