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使用低、高温两步法生长的高质量Ge薄膜作为缓冲层,在Si(001)衬底上采用分子束外延法生长出Ge0.975Sn0.025合金薄膜.X射线双晶衍射和卢瑟福背散射谱等测试结果表明,Ge0.975Sn0.025合金薄膜具有很好的晶体质量,并且没有发生Sn表面分凝.另外,Ge0.975Sn0.025合金薄膜在500 ℃下具有很好的热稳定性,有望在Si基光电器件中得到应用.

关键词:

GeSn/
Ge/
分子束外延/
外延生长

Ge0.975Sn0.025 alloy films have been grown on Si(001) substrates by molecular beam epitaxy with high-quality Ge films as buffer layers.The alloys have high crystalline quality without Sn surface segregation, determined by double crystal X-ray diffraction and Rutherford backscattering spectra measurement. In addition, the Ge0.975Sn0.025 alloy has rather good thermal stability at 500 ℃, which makes it possible to be used in Si-based optoelectronic devices.

Keywords:

作者及机构信息

1.

基金项目:国家重点基础研究发展计划 (批准号:2007CB613404)、国家自然科学基金(批准号:61036003,60906035,51072194)和中国科学院知识创新工程青年人才领域前沿项目(批准号:ISCAS2009T01)资助的课题.

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参考文献

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[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]

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[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]

[1]	尤明慧, 李雪, 李士军, 刘国军.晶格匹配InAs/AlSb超晶格材料的分子束外延生长研究. 必威体育下载 , 2023, 72(1): 014203.doi:10.7498/aps.72.20221383
[2]	李培根, 张济海, 陶野, 钟定永.二维磁性过渡金属卤化物的分子束外延制备及物性调控. 必威体育下载 , 2022, 71(12): 127505.doi:10.7498/aps.71.20220727
[3]	王兴悦, 张辉, 阮子林, 郝振亮, 杨孝天, 蔡金明, 卢建臣.超高真空条件下分子束外延生长的单层二维原子晶体材料的研究进展. 必威体育下载 , 2020, 69(11): 118101.doi:10.7498/aps.69.20200174
[4]	肖嘉星, 鲁军, 朱礼军, 赵建华.垂直磁各向异性L10-Mn1.67Ga超薄膜分子束外延生长与磁性研究. 必威体育下载 , 2016, 65(11): 118105.doi:10.7498/aps.65.118105
[5]	张马淋, 葛剑峰, 段明超, 姚钢, 刘志龙, 管丹丹, 李耀义, 钱冬, 刘灿华, 贾金锋.SrTiO3(001)衬底上多层FeSe薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2016, 65(12): 127401.doi:10.7498/aps.65.127401
[6]	杨文献, 季莲, 代盼, 谭明, 吴渊渊, 卢建娅, 李宝吉, 顾俊, 陆书龙, 马忠权.基于分子束外延生长的1.05 eV InGaAsP的超快光学特性研究. 必威体育下载 , 2015, 64(17): 177802.doi:10.7498/aps.64.177802
[7]	祝梦遥, 鲁军, 马佳淋, 李利霞, 王海龙, 潘东, 赵建华.高质量稀磁半导体(Ga, Mn)Sb单晶薄膜分子束外延生长. 必威体育下载 , 2015, 64(7): 077501.doi:10.7498/aps.64.077501
[8]	何超, 张旭, 刘智, 成步文.Si基IV族异质结构发光器件的研究进展. 必威体育下载 , 2015, 64(20): 206102.doi:10.7498/aps.64.206102
[9]	王萌, 欧云波, 李坊森, 张文号, 汤辰佳, 王立莉, 薛其坤, 马旭村.SrTiO3(001)衬底上单层FeSe超导薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2014, 63(2): 027401.doi:10.7498/aps.63.027401
[10]	苏少坚, 张东亮, 张广泽, 薛春来, 成步文, 王启明.Ge(001)衬底上分子束外延生长高质量的Ge1-xSnx合金. 必威体育下载 , 2013, 62(5): 058101.doi:10.7498/aps.62.058101
[11]	陈城钊, 郑元宇, 黄诗浩, 李成, 赖虹凯, 陈松岩.硅基低位错密度厚锗外延层的UHV/CVD法生长. 必威体育下载 , 2012, 61(7): 078104.doi:10.7498/aps.61.078104
[12]	赵明海, 孙静静, 王丹, 邹志强, 梁齐.C60分子在Si（111）-7×7表面分子束外延生长的STM研究. 必威体育下载 , 2010, 59(1): 636-642.doi:10.7498/aps.59.636
[13]	张燕辉, 陈平平, 李天信, 殷豪.GaAs(001)衬底上分子束外延生长InNSb单晶薄膜. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8026-8030.doi:10.7498/aps.59.8026
[14]	何萌, 刘国珍, 仇杰, 邢杰, 吕惠宾.用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜. 必威体育下载 , 2008, 57(2): 1236-1240.doi:10.7498/aps.57.1236
[15]	喻利花, 董松涛, 董师润, 许俊华.AlN/Si3N4纳米多层膜的外延生长与力学性能. 必威体育下载 , 2008, 57(8): 5151-5158.doi:10.7498/aps.57.5151
[16]	孔明, 魏仑, 董云杉, 李戈扬.TiN/Al2O3纳米多层膜的共格外延生长及超硬效应. 必威体育下载 , 2006, 55(2): 770-775.doi:10.7498/aps.55.770
[17]	周耐根, 周浪, 杜丹旭.面心立方晶体外延膜沉积生长中失配位错的结构与形成过程. 必威体育下载 , 2006, 55(1): 372-377.doi:10.7498/aps.55.372
[18]	胡昉, 张寒洁, 吕斌, 陶永升, 李海洋, 鲍世宁, 何丕模, 王学森.Ge在Ru(0001)表面上生长及其性质研究. 必威体育下载 , 2005, 54(3): 1330-1333.doi:10.7498/aps.54.1330
[19]	叶健松, 胡晓君.超薄膜外延生长的Monte Carlo模拟. 必威体育下载 , 2002, 51(5): 1108-1112.doi:10.7498/aps.51.1108
[20]	敬超, 金晓峰, 董国胜, 龚小燕, 郁黎明, 郑卫民.分子束外延生长Fe/Fe50Mn50双层膜的交换偏置. 必威体育下载 , 2000, 49(10): 2022-2026.doi:10.7498/aps.49.2022

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