- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要

以反射式高能电子衍射(RHEED)作为实时监测工具,根据GaAs(100)表面重构相与衬底温度、As4等效束流压强之间的关系,对分子束外延(MBE)系统中衬底测温系统进行了校准,这种方法也适用于其他的MBE系统.为生长高质量的外延薄膜材料、研究InGaAs表面粗糙化及相变等过程提供了实验依据.

关键词:

Using RHEED as a real-time monitoring tool, the MBE temperature measurement system was calibrated according to the relationship between GaAs (100) surface reconstruction phase and the substrate temperature, As4 beam equivalent pressure of the substrate. This approach can also be applied to other MBE systems. It provides an experimental basis of the growth of high-quality epitaxial thin films for studying of the surface roughness of InGaAs, the phase transformation process and the surface morphology.

Keywords:

作者及机构信息

基金项目:国家自然科学基金(批准号: 60866001),贵州省委组织部高层人才科研特助项目(批准号: Z073011,TZJF-2008-31),贵州省科技厅基金(批准号: Z073085),贵州大学博士基金(批准号: X060031),贵州省优秀科技教育人才省长专项基金(批准号: 黔省专合字(2009)114号),教育部新世纪优秀人才支持计划 (批准号: NCET-08-0651),贵州省优秀青年科技人才培养计划(批准号:[2009]-15)资助的课题.

Authors and contacts

参考文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]

施引文献

[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]

[1]	尤明慧, 李雪, 李士军, 刘国军.晶格匹配InAs/AlSb超晶格材料的分子束外延生长研究. 必威体育下载 , 2023, 72(1): 014203.doi:10.7498/aps.72.20221383
[2]	李培根, 张济海, 陶野, 钟定永.二维磁性过渡金属卤化物的分子束外延制备及物性调控. 必威体育下载 , 2022, 71(12): 127505.doi:10.7498/aps.71.20220727
[3]	李渊, 邓翰宾, 王翠香, 李帅帅, 刘立民, 朱长江, 贾可, 孙英开, 杜鑫, 于鑫, 关童, 武睿, 张书源, 石友国, 毛寒青.反铁磁轴子绝缘体候选材料EuIn₂As₂的表面原子排布和电子结构. 必威体育下载 , 2021, 70(18): 186801.doi:10.7498/aps.70.20210783
[4]	王兴悦, 张辉, 阮子林, 郝振亮, 杨孝天, 蔡金明, 卢建臣.超高真空条件下分子束外延生长的单层二维原子晶体材料的研究进展. 必威体育下载 , 2020, 69(11): 118101.doi:10.7498/aps.69.20200174
[5]	肖嘉星, 鲁军, 朱礼军, 赵建华.垂直磁各向异性L10-Mn1.67Ga超薄膜分子束外延生长与磁性研究. 必威体育下载 , 2016, 65(11): 118105.doi:10.7498/aps.65.118105
[6]	张马淋, 葛剑峰, 段明超, 姚钢, 刘志龙, 管丹丹, 李耀义, 钱冬, 刘灿华, 贾金锋.SrTiO3(001)衬底上多层FeSe薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2016, 65(12): 127401.doi:10.7498/aps.65.127401
[7]	杨文献, 季莲, 代盼, 谭明, 吴渊渊, 卢建娅, 李宝吉, 顾俊, 陆书龙, 马忠权.基于分子束外延生长的1.05 eV InGaAsP的超快光学特性研究. 必威体育下载 , 2015, 64(17): 177802.doi:10.7498/aps.64.177802
[8]	祝梦遥, 鲁军, 马佳淋, 李利霞, 王海龙, 潘东, 赵建华.高质量稀磁半导体(Ga, Mn)Sb单晶薄膜分子束外延生长. 必威体育下载 , 2015, 64(7): 077501.doi:10.7498/aps.64.077501
[9]	周勋, 罗子江, 王继红, 郭祥, 丁召.低As压退火对GaAs(001)表面形貌与重构的影响. 必威体育下载 , 2015, 64(21): 216803.doi:10.7498/aps.64.216803
[10]	王萌, 欧云波, 李坊森, 张文号, 汤辰佳, 王立莉, 薛其坤, 马旭村.SrTiO3(001)衬底上单层FeSe超导薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2014, 63(2): 027401.doi:10.7498/aps.63.027401
[11]	吴建邦, 周民杰, 王雪敏, 王瑜英, 熊政伟, 程新路, Marie-José Casanove, Christophe Gatel, 吴卫东.纳米FePt颗粒：MgO多层复合薄膜的外延生长、微观结构与磁性研究. 必威体育下载 , 2014, 63(16): 166801.doi:10.7498/aps.63.166801
[12]	聂帅华, 朱礼军, 潘东, 鲁军, 赵建华.分子束外延制备的垂直易磁化MnAl薄膜结构和磁性. 必威体育下载 , 2013, 62(17): 178103.doi:10.7498/aps.62.178103
[13]	魏文喆, 郭祥, 刘珂, 王一, 罗子江, 周清, 王继红, 丁召.InAs(001)表面脱氧动力学分析. 必威体育下载 , 2013, 62(22): 226801.doi:10.7498/aps.62.226801
[14]	胡懿彬, 郝智彪, 胡健楠, 钮浪, 汪莱, 罗毅.分子束外延生长InGaN/AlN量子点的组分研究. 必威体育下载 , 2012, 61(23): 237804.doi:10.7498/aps.61.237804
[15]	苏少坚, 汪巍, 张广泽, 胡炜玄, 白安琪, 薛春来, 左玉华, 成步文, 王启明.Si(001)衬底上分子束外延生长Ge0.975Sn0.025合金薄膜. 必威体育下载 , 2011, 60(2): 028101.doi:10.7498/aps.60.028101
[16]	张燕辉, 陈平平, 李天信, 殷豪.GaAs(001)衬底上分子束外延生长InNSb单晶薄膜. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8026-8030.doi:10.7498/aps.59.8026
[17]	赵明海, 孙静静, 王丹, 邹志强, 梁齐.C60分子在Si（111）-7×7表面分子束外延生长的STM研究. 必威体育下载 , 2010, 59(1): 636-642.doi:10.7498/aps.59.636
[18]	李天富, 陈东风, 王洪立, 孙凯, 刘蕴韬.超薄Fe(4?)膜磁特性极化中子反射研究. 必威体育下载 , 2009, 58(11): 7993-7997.doi:10.7498/aps.58.7993
[19]	张冲, 叶辉, 张磊, 皇甫幼睿, 刘旭.在Si-Ge晶体外延生长中的RHEED花样研究. 必威体育下载 , 2009, 58(11): 7765-7772.doi:10.7498/aps.58.7765
[20]	敬超, 金晓峰, 董国胜, 龚小燕, 郁黎明, 郑卫民.分子束外延生长Fe/Fe50Mn50双层膜的交换偏置. 必威体育下载 , 2000, 49(10): 2022-2026.doi:10.7498/aps.49.2022

计量

文章访问数:10280
PDF下载量:987
被引次数:0

搜索

留言板

Study on temperature calibration and surface phase transition of GaAs crystal substrate in MBE growth by RHEED real-time monitoring

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Study on temperature calibration and surface phase transition of GaAs crystal substrate in MBE growth by RHEED real-time monitoring

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们