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摘要

在蓝宝石衬底上生长了以AlN/GaN超晶格准AlGaN合金作为势垒的HEMT结构材料,并与传统AlGaN合金势垒样品进行了对比.在高Al组分(≥40%)情况下,超晶格势垒样品的表面形貌明显改进,电学性能特别是2DEG面电子浓度也有所改进.对超晶格势垒生长参数进行了初步优化,使得HEMT结构薄层电阻进一步降低,最后获得了251 Ω/□的薄层电阻.

关键词:

We report the growth and characterization of AlGaN/GaN heterostructures with AlN/GaN superlattices as the barrier layer.It is found that the surface morphology of the heterostructure is greatly improved compared with those using the conventional alloy AlGaN barrier layer.Meanwhile, electric properties of samples with high Al composition (≥40%) are superior to the conventional alloy sanples.Low sheet resistance (251 Ω/□) is obtained for our samples with 40% Al content.

Keywords:

作者及机构信息

1.

基金项目:国家自然科学基金(批准号: 10574148), 国家重点基础研究发展计划(批准号: 2006CB921300), 国家高技术研究发展计划(批准号: 2006AA03A106, 2006AA03A107)资助的课题.

Authors and contacts

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[12]
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[14]
[15]
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[9]
[10]
[11]
[12]
[13]
[14]
[15]
[16]
[17]
[18]
[19]
[20]
[21]
[22]
[23]
[24]
[25]

[1]	吕玲, 邢木涵, 薛博瑞, 曹艳荣, 胡培培, 郑雪峰, 马晓华, 郝跃.重离子辐射对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管低频噪声特性的影响. 必威体育下载 , 2024, 73(3): 036103.doi:10.7498/aps.73.20221360
[2]	刘乃漳, 姚若河, 耿魁伟.AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管的栅极电容模型. 必威体育下载 , 2021, 70(21): 217301.doi:10.7498/aps.70.20210700
[3]	张雪冰, 刘乃漳, 姚若河.AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管中二维电子气的极化光学声子散射. 必威体育下载 , 2020, 69(15): 157303.doi:10.7498/aps.69.20200250
[4]	董世剑, 郭红霞, 马武英, 吕玲, 潘霄宇, 雷志锋, 岳少忠, 郝蕊静, 琚安安, 钟向丽, 欧阳晓平.AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件电离辐照损伤机理及偏置相关性研究. 必威体育下载 , 2020, 69(7): 078501.doi:10.7498/aps.69.20191557
[5]	刘旭阳, 张贺秋, 李冰冰, 刘俊, 薛东阳, 王恒山, 梁红伟, 夏晓川.AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管温度传感器特性. 必威体育下载 , 2020, 69(4): 047201.doi:10.7498/aps.69.20190640
[6]	刘燕丽, 王伟, 董燕, 陈敦军, 张荣, 郑有炓.结构参数对N极性面GaN/InAlN高电子迁移率晶体管性能的影响. 必威体育下载 , 2019, 68(24): 247203.doi:10.7498/aps.68.20191153
[7]	刘静, 王琳倩, 黄忠孝.基于凹槽结构抑制AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管电流崩塌效应. 必威体育下载 , 2019, 68(24): 248501.doi:10.7498/aps.68.20191311
[8]	周幸叶, 吕元杰, 谭鑫, 王元刚, 宋旭波, 何泽召, 张志荣, 刘庆彬, 韩婷婷, 房玉龙, 冯志红.基于脉冲方法的超短栅长GaN基高电子迁移率晶体管陷阱效应机理. 必威体育下载 , 2018, 67(17): 178501.doi:10.7498/aps.67.20180474
[9]	郭海君, 段宝兴, 袁嵩, 谢慎隆, 杨银堂.具有部分本征GaN帽层新型AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管特性分析. 必威体育下载 , 2017, 66(16): 167301.doi:10.7498/aps.66.167301
[10]	王凯, 邢艳辉, 韩军, 赵康康, 郭立建, 于保宁, 邓旭光, 范亚明, 张宝顺.掺Fe高阻GaN缓冲层特性及其对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管器件的影响研究. 必威体育下载 , 2016, 65(1): 016802.doi:10.7498/aps.65.016802
[11]	刘阳, 柴常春, 于新海, 樊庆扬, 杨银堂, 席晓文, 刘胜北.GaN高电子迁移率晶体管强电磁脉冲损伤效应与机理. 必威体育下载 , 2016, 65(3): 038402.doi:10.7498/aps.65.038402
[12]	王现彬, 赵正平, 冯志红.N极性GaN/AlGaN异质结二维电子气模拟. 必威体育下载 , 2014, 63(8): 080202.doi:10.7498/aps.63.080202
[13]	李加东, 程珺洁, 苗斌, 魏晓玮, 张志强, 黎海文, 吴东岷.生物分子膜门电极AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)生物传感器研究. 必威体育下载 , 2014, 63(7): 070204.doi:10.7498/aps.63.070204
[14]	任舰, 闫大为, 顾晓峰.AlGaN/GaN 高电子迁移率晶体管漏电流退化机理研究. 必威体育下载 , 2013, 62(15): 157202.doi:10.7498/aps.62.157202
[15]	王威, 周文政, 韦尚江, 李小娟, 常志刚, 林铁, 商丽燕, 韩奎, 段俊熙, 唐宁, 沈波, 褚君浩.GaN/AlxGa1-xN异质结二维电子气的磁电阻研究. 必威体育下载 , 2012, 61(23): 237302.doi:10.7498/aps.61.237302
[16]	马骥刚, 马晓华, 张会龙, 曹梦逸, 张凯, 李文雯, 郭星, 廖雪阳, 陈伟伟, 郝跃.AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管中kink效应的半经验模型. 必威体育下载 , 2012, 61(4): 047301.doi:10.7498/aps.61.047301
[17]	王冲, 全思, 马晓华, 郝跃, 张进城, 毛维.增强型AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管高温退火研究. 必威体育下载 , 2010, 59(10): 7333-7337.doi:10.7498/aps.59.7333
[18]	周忠堂, 郭丽伟, 邢志刚, 丁国建, 谭长林, 吕力, 刘建, 刘新宇, 贾海强, 陈弘, 周均铭.AlGaN/AlN/GaN结构中二维电子气的输运特性. 必威体育下载 , 2007, 56(10): 6013-6018.doi:10.7498/aps.56.6013
[19]	孔月婵, 郑有炓, 周春红, 邓永桢, 顾书林, 沈波, 张荣, 韩平, 江若琏, 施毅.AlGaN/GaN异质结构中极化与势垒层掺杂对二维电子气的影响. 必威体育下载 , 2004, 53(7): 2320-2324.doi:10.7498/aps.53.2320
[20]	吕永良, 周世平, 徐得名.光照下高电子迁移率晶体管特性分析. 必威体育下载 , 2000, 49(7): 1394-1399.doi:10.7498/aps.49.1394

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