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摘要

在室温下，采用射频磁控溅射法制备了Cu/TiOx纳米晶复合薄膜.利用X射线粉末衍射（XRD）、X射线光电子能谱（XPS）对其结构进行表征，并研究了Cu/TiOx复合薄膜的UV-vis吸收谱和亲水性.结果表明，退火前后薄膜中钛元素皆以Ti3+形式存在.薄膜在可见区有吸收，吸收限为600 nm左右.Cu/TiOx复合薄膜具有良好的亲水性.这主要是由于Cu的掺杂，使得薄膜的性能的亲水性变好.

关键词:

Cu/TiOx composite films have been deposited by RF magnetron sputtering at room temperature. The chemical components and structures of the Cu/TiOx composite films have been characterized by X-ray diffractometer (XRD), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), UV-vis spectroscopy and water contact angel measurement. It is found that the titanium presents in the form of Ti3+ before and after annealing. The results of UV-vis spectroscopy show the visible light absorption features of Cu/TiOx composite films with the absorption edge at about 600 nm. Contact angle results indicate that the Cu/TiOx films are hydrophilic, which is attributed to the added Cu.

Keywords:

作者及机构信息

1.

基金项目:国家自然科学基金(批准号：60571029，50672088)，浙江省教育厅科研项目(批准号：Y200806012)和浙江省自然科学基金杰出青年团队项目(批准号：R4090058)资助的课题.

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