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摘要

提出一种电磁场递推算法来分析微纳光学元件体内电磁场的传输.该方法基于Maxwell方程组和电磁场横向的边界条件给出了严格解.以高斯光束在亚波长矩形浮雕光栅体内的传输为例，分析了非匀幅光束在微纳光学元件体内的传输.

关键词:

A recursive algorithm for electromagnetic fields propagating in micro-nano optical elements is proposed in this paper.This method is based on Maxwells equations and the continuity of tangential components of the electric and magnetic field vectors,and gives an exact complete solution.Taking the propagation of Gaussian beams in the sub-wavelength rectangle relief grating as an example; we analyze the propagation of beams with non-uniform amplitude in micro-nano optical elements in detail.

Keywords:

recursive algorithm for electromagnetic fields/
non-uniform amplitude beams/
micro-nano optical elements

作者及机构信息

基金项目:微细加工国家重点实验室开放基金和中国博士后基金（批准号： 2009450159）资助的课题.

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