[1] |
宋柳琴, 贾文柱, 董婉, 张逸凡, 戴忠玲, 宋远红.容性耦合放电等离子体增强氧化硅薄膜沉积模拟研究. 必威体育下载 , 2022, 71(17): 170201.doi:10.7498/aps.71.20220493 |
[2] |
杨蒙生, 易泰民, 郑凤成, 唐永建, 张林, 杜凯, 李宁, 赵利平, 柯博, 邢丕峰.沉积态铀薄膜表面氧化的X射线光电子能谱. 必威体育下载 , 2018, 67(2): 027301.doi:10.7498/aps.67.20172055 |
[3] |
张增院, 郜小勇, 冯红亮, 马姣民, 卢景霄.反应气压对直流磁控反应溅射制备的氧化银薄膜的结构和光学性质的影响. 必威体育下载 , 2011, 60(1): 016110.doi:10.7498/aps.60.016110 |
[4] |
夏志林, 郭培涛, 薛亦渝, 黄才华, 李展望.短脉冲激光诱导薄膜损伤的等离子体爆炸过程分析. 必威体育下载 , 2010, 59(5): 3523-3530.doi:10.7498/aps.59.3523 |
[5] |
杨杭生, 聂安民, 张健英.立方氮化硼薄膜的最新研究进展. 必威体育下载 , 2009, 58(2): 1364-1370.doi:10.7498/aps.58.1364 |
[6] |
刘 峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜.感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究. 必威体育下载 , 2008, 57(3): 1796-1801.doi:10.7498/aps.57.1796 |
[7] |
邓金祥, 汪旭洋, 姚 倩, 周 涛, 张晓康.立方氮化硼薄膜的光学带隙. 必威体育下载 , 2008, 57(10): 6631-6635.doi:10.7498/aps.57.6631 |
[8] |
陈 浩, 邓金祥, 刘钧锴, 周 涛, 张 岩, 陈光华.立方氮化硼薄膜沉积过程的相变研究. 必威体育下载 , 2007, 56(6): 3418-3427.doi:10.7498/aps.56.3418 |
[9] |
杨杭生.等离子体增强化学气相沉积法制备立方氮化硼薄膜过程中的表面生长机理. 必威体育下载 , 2006, 55(8): 4238-4246.doi:10.7498/aps.55.4238 |
[10] |
于 威, 王保柱, 杨彦斌, 路万兵, 傅广生.螺旋波等离子体化学气相沉积纳米硅薄膜的光学发射谱研究. 必威体育下载 , 2005, 54(5): 2394-2398.doi:10.7498/aps.54.2394 |
[11] |
于 威, 刘丽辉, 侯海虹, 丁学成, 韩 理, 傅广生.螺旋波等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜. 必威体育下载 , 2003, 52(3): 687-691.doi:10.7498/aps.52.687 |
[12] |
程珊华, 宁兆元, 黄峰.等离子体增强反应蒸发沉积的氟掺杂氧化铟薄膜的性质. 必威体育下载 , 2002, 51(3): 668-673.doi:10.7498/aps.51.668 |
[13] |
叶超, 宁兆元, 程珊华.电子回旋共振等离子体增强沉积氟化非晶碳薄膜的光学性质. 必威体育下载 , 2001, 50(10): 2017-2022.doi:10.7498/aps.50.2017 |
[14] |
陈波, 郑志坚, 丁永坤, 李三伟, 王耀梅.双示踪元素X射线能谱诊断激光等离子体电子温度. 必威体育下载 , 2001, 50(4): 711-714.doi:10.7498/aps.50.711 |
[15] |
陈光华, 邓金祥, 张生俊, 宋雪梅, 王波, 严辉.衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响. 必威体育下载 , 2001, 50(1): 83-87.doi:10.7498/aps.50.83 |
[16] |
田晶泽, 吕反修, 夏立芳.脉冲直流偏压增强的高质量立方氮化硼薄膜的合成. 必威体育下载 , 2001, 50(11): 2258-2262.doi:10.7498/aps.50.2258 |
[17] |
杨国洪, 张继彦, 张保汉, 周裕清, 李 军.金激光等离子体X射线精细结构谱研究. 必威体育下载 , 2000, 49(12): 2389-2393.doi:10.7498/aps.49.2389 |
[18] |
张志宏, 郭怀喜, 余非为, 熊启华, 叶明生, 范湘军.低压等离子体增强化学汽相沉积法制备立方氮化碳薄膜. 必威体育下载 , 1998, 47(6): 1047-1051.doi:10.7498/aps.47.1047 |
[19] |
裴文兵, 常铁强, 张钧.激光等离子体非平衡X射线发射谱理论研究. 必威体育下载 , 1995, 44(11): 1766-1775.doi:10.7498/aps.44.1766 |
[20] |
马国彬, 谭维翰.短脉冲驱动下膨胀冷却等离子体中软X射线激光研究. 必威体育下载 , 1994, 43(6): 942-949.doi:10.7498/aps.43.942 |