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摘要
提出采用功率谱密度（PSD）的方法来描述光学元件的“缺陷”分布状况.以数目巨大的微米量级振幅调制型缺陷为例，基于统计思想，得到了光学元件“缺陷”分布等效PSD的求法，并验证了等效求法的合理性.

关键词:
功率谱密度/

统计分析/

等效求法/

“缺陷”
Abstract
The method of power spectral density（PSD） to describe defects existing on optical elements was proposed for the first time. An equivalent PSD algorithm was composed for treating the presence of plenty of amplitude-modulating micrometer-siged defects using statistical theory, and the method was validated by simulation.

Keywords:
power spectral density/

statistical analysis/

equivalent method/

defects
作者及机构信息
周丽丹,

粟敬钦,

李平,

刘兰琴,

王文义,

王方,

莫磊,

程文雍,

张小民

1.

基金项目:中国工程物理研究院科学技术发展基金（批准号：2007B08005）资助的课题.
Authors and contacts
Zhou Li-Dan,

Su Jing-Qin,

Li Ping,

Liu Lan-Qin,

Wang Wen-Yi,

Wang Fang,

Mo Lei,

Cheng Wen-Yong,

Zhang Xiao-Min

1.
参考文献

施引文献

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