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摘要
利用基于激光外差测量技术和激光多普勒技术的非接触式多光束激光外差测量方法，得到了光电探测器输出电流的谐波表达式.讨论了该测量方法用于玻璃厚度超精密测量的可行性及理论依据，并利用Matlab软件对不同情况进行了仿真实验.结果表明：该方法在不同入射角时测量平板玻璃厚度最大的误差为0.3%，明显比其他测量方法精度高.

关键词:
外差探测/

多光束激光外差/

激光多普勒技术/

非接触式测量
Abstract
Multi-beam laser heterodyne measurement of glass thiclcness is based on laser heterodyne measurement technology and laser Doppler technology. We deduced the harmonic expression of photodetector output current, discussed the feasibility and theory of the method which make use of the non-contact multi-beam laser heterodyne to increase the precision of the glass thickness measurement, and made simulation in different situation with Matlab. The results showed that the maximum error is 0.3% at different incidence angles in flat glass thickness measurement, which has an obvious advantage in accuracy over the other methods.

Keywords:
heterodyne detection/

multi-beam laser heterodyne/

laser doppler technology/

non-contact measurement
作者及机构信息
李彦超,

章亮,

杨彦玲,

高龙,

徐博,

王春晖

1.

基金项目:国家自然科学基金（批准号:60577032）资助的课题.
Authors and contacts
Li Yan-Chao,

Zhang Liang,

Yang Yan-Ling,

Gao Long,

Xu Bo,

Wang Chun-Hui

1.
参考文献

施引文献

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[12]	廖磊, 易旺民, 杨再华, 吴冠豪.基于合成波长法的飞秒激光外差干涉测距方法. 必威体育下载 , 2016, 65(14): 140601.doi:10.7498/aps.65.140601
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[20]	肖瑞, 侯静, 姜宗福.光纤激光器阵列相干合成中的位相探测与校正方法研究. 必威体育下载 , 2006, 55(1): 184-187.doi:10.7498/aps.55.184

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