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设计并研制了室温连续工作的单模13 μm垂直腔面发射激光器（VCSEL），阈值电流为051 mA，最高连续工作温度达到82℃，斜率效率为029 W/A.采用InAsP/InGaAsP应变补偿多量子阱作为有源增益区，由晶片直接键合技术融合InP基谐振腔和GaAs基GaAs/Al（Ga）As分布布拉格下反射腔镜，并由电子束蒸发法沉积SiO2/TiO2介质薄膜上反射腔镜形成13 μm VCSEL结构.讨论并分析了谐振腔模式与量子阱增益峰相对位置对器件性能的影响.

关键词:
垂直腔面发射激光器/

晶片直接键合/

应变补偿多量子阱
Abstract
We present the design and fabrication of 13 μm vertical-cavity surface-emitting lasers （VCSELs）. This laser exhibits continuous-wave single-mode operation up to 82℃. The theshold current as low as 051 mA and a slop efficiency of 029 W/A have been achieved. This laser is composed of a wafer-bonded GaAs/Al（Ga）As distributed Bragg reflector （DBR） and a dielectric SiO2/TiO2 DBR with InAsP/InGaAsP strain-compensated multi-quantum wells grown in the cavity. The effect of cavity mode-gain offset on device performance is then discussed.

Keywords:
vertical-cavity surface-emitting laser/

wafer-direct bonding/

strain-compensated multi-quantum well
作者及机构信息
劳燕锋,

曹春芳,

吴惠桢,

曹萌,

龚谦

1.

基金项目:国家重点基础研究发展计划（973）项目（批准号：2003CB314903）的资助课题.
Authors and contacts
Lao Yan-Feng,

Cao Chun-Fang,

Wu Hui-Zhen,

Cao Meng,

Gong Qian

1.
参考文献

施引文献

[1]	闫观鑫, 郝永芹, 张秋波.高功率垂直腔面发射激光器阵列热特性. 必威体育下载 , 2024, 73(5): 054204.doi:10.7498/aps.73.20231614
[2]	潘智鹏, 李伟, 吕家纲, 聂语葳, 仲莉, 刘素平, 马骁宇.940 nm 垂直腔面发射激光器单管器件的设计与制备. 必威体育下载 , 2023, 72(11): 114203.doi:10.7498/aps.72.20230297
[3]	王志鹏, 关宝璐, 张峰, 杨嘉炜.内腔亚波长光栅液晶可调谐垂直腔面发射激光器. 必威体育下载 , 2021, 70(22): 224208.doi:10.7498/aps.70.20210957
[4]	张福领, 付丽珊, 胡丕丽, 韩文杰, 王宏卓, 张峰, 关宝璐.795 nm亚波长光栅耦合腔垂直腔面发射激光器的超窄线宽特性. 必威体育下载 , 2021, 70(22): 224207.doi:10.7498/aps.70.20210293
[5]	王志鹏, 张峰, 杨嘉炜, 李鹏涛, 关宝璐.表面液晶-垂直腔面发射激光器阵列的热特性. 必威体育下载 , 2020, 69(6): 064203.doi:10.7498/aps.69.20191793
[6]	于洪岩, 尧舜, 张红梅, 王青, 张杨, 周广正, 吕朝晨, 程立文, 郎陆广, 夏宇, 周天宝, 康联鸿, 王智勇, 董国亮.940 nm垂直腔面发射激光器的设计及制备. 必威体育下载 , 2019, 68(6): 064207.doi:10.7498/aps.68.20181822
[7]	张浩, 郭星星, 项水英.基于单向注入垂直腔面发射激光器系统的密钥分发. 必威体育下载 , 2018, 67(20): 204202.doi:10.7498/aps.67.20181038
[8]	周广正, 尧舜, 于洪岩, 吕朝晨, 王青, 周天宝, 李颖, 兰天, 夏宇, 郎陆广, 程立文, 董国亮, 康联鸿, 王智勇.高速850 nm垂直腔面发射激光器的优化设计与外延生长. 必威体育下载 , 2018, 67(10): 104205.doi:10.7498/aps.67.20172550
[9]	刘庆喜, 潘炜, 张力月, 李念强, 阎娟.基于外光注入互耦合垂直腔面发射激光器的混沌随机特性研究. 必威体育下载 , 2015, 64(2): 024209.doi:10.7498/aps.64.024209
[10]	关宝璐, 刘欣, 江孝伟, 刘储, 徐晨.多横模垂直腔面发射激光器及其波长特性. 必威体育下载 , 2015, 64(16): 164203.doi:10.7498/aps.64.164203
[11]	邓伟, 夏光琼, 吴正茂.基于双光反馈垂直腔面发射激光器的双信道混沌同步通信. 必威体育下载 , 2013, 62(16): 164209.doi:10.7498/aps.62.164209
[12]	毛明明, 徐晨, 魏思民, 解意洋, 刘久澄, 许坤.质子注入能量对垂直腔面发射激光器的阈值和功率的影响. 必威体育下载 , 2012, 61(21): 214207.doi:10.7498/aps.61.214207
[13]	刘发, 徐晨, 赵振波, 周康, 解意洋, 毛明明, 魏思民, 曹田, 沈光地.氧化孔形状对光子晶体垂直腔面发射激光器模式的影响. 必威体育下载 , 2012, 61(5): 054203.doi:10.7498/aps.61.054203
[14]	郝永芹, 冯源, 王菲, 晏长岭, 赵英杰, 王晓华, 王玉霞, 姜会林, 高欣, 薄报学.808nm大孔径垂直腔面发射激光器研究. 必威体育下载 , 2011, 60(6): 064201.doi:10.7498/aps.60.064201
[15]	杨浩, 郭霞, 关宝璐, 王同喜, 沈光地.注入电流对垂直腔面发射激光器横模特性的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(5): 2959-2965.doi:10.7498/aps.57.2959
[16]	彭红玲, 韩勤, 杨晓红, 牛智川.1.3μm量子点垂直腔面发射激光器高频响应的优化设计. 必威体育下载 , 2007, 56(2): 863-870.doi:10.7498/aps.56.863
[17]	劳燕锋, 吴惠桢.直接键合InP-GaAs结构界面的特性研究. 必威体育下载 , 2005, 54(9): 4334-4339.doi:10.7498/aps.54.4334
[18]	佟存柱, 牛智川, 韩勤, 吴荣汉.1.3μm GaAs基量子点垂直腔面发射激光器结构设计与分析. 必威体育下载 , 2005, 54(8): 3651-3656.doi:10.7498/aps.54.3651
[19]	赵红东, 宋殿友, 张智峰, 孙静, 孙梅, 武一, 温幸饶.n型DBR中电势对垂直腔面发射激光器阈值的影响. 必威体育下载 , 2004, 53(11): 3744-3747.doi:10.7498/aps.53.3744
[20]	赵红东, 康志龙, 王胜利, 陈国鹰, 张以谟.高速调制响应垂直腔面发射激光器中的微腔效应. 必威体育下载 , 2003, 52(1): 77-80.doi:10.7498/aps.52.77

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