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摘要
建立了一种适用于多量子阱和多有源区的多层速率方程模型. 通过小信号分析，得到了光子密度、载流子俘获、逃逸和隧穿时间等关键参数对单有源区和隧道再生双有源区垂直腔面发射激光器频率响应特性的影响，并分析了在相同驱动电流下隧道再生双有源区器件调制带宽大于单有源区器件的原因. 进一步研究了隧道再生双有源区内腔接触氧化限制型垂直腔面发射激光器的寄生电参数及其寄生电路，对其频率响应进行了模拟分析.

关键词:
垂直腔面发射激光器/

速率方程/

调制特性/

隧道再生
Abstract
A rate equation model of multi-quantum wells and multi-active regions were presented. The effects of photon density and the carrier capture-escape-tunnel time on the frequency response of single active region vertical-cavity surface-emitting Laser （VCSEL） and tunnel-regenerated VCSEL with two active regions were simulated by the small signal analysis. The result of simulation shows that the modulate bandwidth of tunnel-regenerated VCSEL with two active regions is larger than that with single active region under the same drive current, then its causes are discussed. Moreover, we simulate the frequency response of the parasitic circuit of tunnel-regenerated internal-contact oxide-confined VCSEL with two active regions after analyzing its parasitic parameters.

Keywords:
vertical-cavity surface-emitting laser/

rate equations/

modulation response/

tunnel regenerated
作者及机构信息
王同喜,

关宝璐,

郭霞,

沈光地

1.

基金项目:国家自然科学基金（批准号：60506012）, 国家重点基础研究发展计划（973）项目（批准号：2006CB604902）,霍英东基金（批准号： 101062），国家高技术研究发展计划（批准号：2006AA03A121）, 教育部新世纪优秀人才计划项目（批准号:39002013200801），北京市青年骨干教师培养计划项目（批准号：J2002013200801）和北京工业大学研究生科技基金（批准号：ykj20071594）资助的课题.
Authors and contacts
Wang Tong-Xi,

Guan Bao-Lu,

Guo Xia,

Shen Guang-Di

1.
参考文献

施引文献

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[6]	苏斌斌, 陈建军, 吴正茂, 夏光琼.混沌光注入垂直腔面发射激光器混沌输出的时延和带宽特性. 必威体育下载 , 2017, 66(24): 244206.doi:10.7498/aps.66.244206
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[10]	王强, 关宝璐, 刘克, 史国柱, 刘欣, 崔碧峰, 韩军, 李建军, 徐晨.表面液晶-垂直腔面发射激光器温度特性的研究. 必威体育下载 , 2013, 62(23): 234206.doi:10.7498/aps.62.234206
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[13]	关宝璐, 郭霞, 张敬兰, 任秀娟, 郭帅, 李硕, 揣东旭, 沈光地.双波长垂直腔面发射激光器及特性研究. 必威体育下载 , 2011, 60(1): 014209.doi:10.7498/aps.60.014209
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[18]	崔碧峰, 李建军, 邹德恕, 廉鹏, 韩金茹, 王东凤, 杜金玉, 刘莹, 赵慧敏, 沈光地.大光腔小垂直发散角InGaAs/GaAs/AlGaAs半导体激光器. 必威体育下载 , 2004, 53(7): 2150-2153.doi:10.7498/aps.53.2150
[19]	赵红东, 康志龙, 王胜利, 陈国鹰, 张以谟.高速调制响应垂直腔面发射激光器中的微腔效应. 必威体育下载 , 2003, 52(1): 77-80.doi:10.7498/aps.52.77
[20]	宋峰, 孟凡臻, 丁欣, 张潮波, 杨嘉, 张光寅.1.54μmEr3+,Yb3+共掺玻璃激光器的速率方程及数值分析. 必威体育下载 , 2002, 51(6): 1233-1238.doi:10.7498/aps.51.1233

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