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在分析沙漏状X射线组合折射透镜（X-ray compound refractive lens，XCRL）的折射聚焦理论的基础上，设计并利用背面曝光技术制作了SU-8材料的沙漏状XCRL，该技术在保证图形准确性的同时减少了工艺步骤，使制作更加简便易行.在10?keV单色X射线辐射下，对制作的透镜进行了聚焦性能的实验测试，结果表明，所制作的透镜较好地实现了一维聚焦.

关键词:
组合折射透镜/

背面曝光/

沙漏状/

SU-8
Abstract
Using back-mask exposure technology，the hourglass-shaped X-ray compound refractive lens （XCRL） was made. Firstly，the theory of the refractive focusing of the hourglass-shaped XCRL was analyzed. Then the hourglass-shaped XCRL was manufactured using back-mask exposure technology for the first time，which avoids two-time masking and reduces the transfer times of the figure. The refractive focusing performance of the lens was tested with 10?keV monochromatic X-ray. The experimental results indicated that it has good focusing performance in one dimension, which is in general coincident with the calculated results.

Keywords:
compound refractive lens （CRL）/

back-mask exposure/

hourglass shape/

SU-8
作者及机构信息
朱艳青³,

梁静秋²,

梁中翥²,

黄鑫华³,

乐孜纯¹,

伊福廷⁴,

侯凤杰⁴,

黄万霞⁴,

董文¹,

王维彪²,

王志立⁴,

崔乃迪³

基金项目:国家自然科学基金（批准号：60672014 ），北京正负电子对撞机国家实验室用户项目资助的课题.
Authors and contacts
Zhu Yan-Qing³,

Liang Jing-Qiu²,

Liang Zhong-Zhu²,

Huang Xin-Hua³,

Le Zi-Chun¹,

Yi Fu-Ting⁴,

Hou Feng-Jie⁴,

Huang Wan-Xia⁴,

Dong Wen¹,

Wang Wei-Biao²,

Wang Zhi-Li⁴,

Cui Nai-Di³
参考文献

施引文献

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