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    袁强华, 辛 煜, 黄晓江, 孙 恺, 宁兆元

    Effect of 13.56MHz low-frequency power on electrical characteristic of 60MHz radio-frequency capacitively coupled plasma

    Yuan Qiang-Hua, Xin Yu, Huang Xiao-Jiang, Sun Kai, Ning Zhao-Yuan
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    出版历程
    • 收稿日期:2008-02-27
    • 修回日期:2008-04-11
    • 刊出日期:2008-11-20

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