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摘要
采用中频磁控溅射法制备了镱铒共掺Al2O3薄膜，铒镱掺杂浓度分别为0.3%，3.6%(摩尔分数，全文同).讨论了三价铒离子529nm和549nm光致发光的上转换机理.在291.8—573.3K温度区间测量了两绿上转换光谱荧光强度比的温度特性，拟合表达式为R=5.37exp(-738/T).366 K温度时灵敏度最大，为0.0039 K-1.结果表明镱铒共掺Al2O3薄膜适合作为小型、高温和高灵敏的光学温度传感材料.

关键词:
镱铒共掺Al2O3薄膜/

中频磁控溅射/

上转换/

荧光强度比
Abstract
Yb-Er co_doped Al2O3 film was prepared on SiO2/Si substrate using a medium frequency magnetron sputtering system, and the concentrations of dopant Er and Yb ions were 0.3% and 3.6%, respectively. The up-conversion mechanisms of Er3+ photoluminescence at 529 and 549nm were discussed. The fluorescence intensity ratio of the green up-conversion spectra were measured in the temperature range of 291.8—573.3K, and the temperature characteristics were fitted as R=5.37exp(-738/T). At the temperature of 366K, the sensitivity has the maximum value of 0.0039 K-1. The results show that the Yb∶Er∶Al2O3 film is a suitable material for minitype, high-sensitivity and high-temperature optical sensors.

Keywords:
Yb∶Er∶Al2O3 co-doped film/

medium frequency magnetron sputter/

up-conversion/

fluorescence intensity ratio
作者及机构信息
李成仁²,

明成国²,

李淑凤¹,

丁建华¹,

王宝成²,

张丽²

基金项目:辽宁省科技厅基金(批准号：20062137)资助的课题.
Authors and contacts
Li Cheng-Ren²,

Ming Cheng-Guo²,

Li Shu-Feng¹,

Ding Jian-Hua¹,

Wang Bao-Cheng²,

Zhang Li²
参考文献

施引文献

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