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摘要
在普通850nm垂直腔面发射激光器基础上制备了.当小孔直径为200nm，周围光栅的周期为400nm时，在15mA驱动电流下最大输出光功率达到了0.3mW.介绍了该器件的制备工艺，并从实验和理论两方面分析了周期性光栅结构对光束的约束作用.

关键词:
表面等离子体/

纳米孔径垂直腔面激光器/

输出光功率/

远场特性
Abstract
Surface plasmon modulated nano-aperture vertical-cavity surface-emitting lasers were fabricated from common 850nm VCSELs. When the diameter of the aperture was 200nm, and the period of grating was 400nm, the maximum far-field output power reached 0.3mW at a driving current of 15mA. The fabrication process was described and the beaming properties were studied via experimentally and theoretically.

Keywords:
surface plasmon/

nano-aperture VCSELs/

output power/

far-field property
作者及机构信息
高建霞,

宋国峰,

郭宝山,

甘巧强,

陈良惠

1.

基金项目:中国科学院知识创新工程和国家高技术研究发展计划(863)(批准号：2002AA313060)资助的课题.
Authors and contacts
Gao Jian-Xia,

Song Guo-Feng,

Guo Bao-Shan,

Gan Qiao-Qiang,

Chen Liang-Hui

1.
参考文献

施引文献

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[20]	花磊, 宋国峰, 郭宝山, 汪卫敏, 张宇.中红外下半导体掺杂调制的表面等离子体透射增强效应. 必威体育下载 , 2008, 57(11): 7210-7215.doi:10.7498/aps.57.7210

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