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    黄永宪, 田修波, 杨士勤, Fu Ricky, Chu K. Paul

    Effect of rise-time patterns on dynamics of sheath expansion during plasma immersion ion implantation

    Huang Yong-Xian, Tian Xiu-Bo, Yang Shi-Qin, Ricky Fu, Paul Chu K.
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    出版历程
    • 收稿日期:2006-11-27
    • 修回日期:2007-04-06
    • 刊出日期:2007-04-05

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