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摘要
利用激光脉冲沉积(PLD)技术在(302)γ-LiAlO2衬底上成功生长了非极性的a面(1120) ZnO薄膜. 衬底温度为350℃时，薄膜是混合取向(a向和c向)，以c面ZnO为主，且晶粒尺寸分布很宽；提高温度达500℃，薄膜变为单一的(1120)取向，摇摆曲线半高宽0.65°，晶粒尺寸分布趋窄，利用偏振透射谱可以明显看出其面内的各向异性. 衬底温度650℃下制备的样品晶粒继续长大，虽然摇摆曲线半高宽变大，但光致发光谱(PL)带边发射峰半高宽仅为105meV，比在350℃，500℃下制备的样品小1/5.

关键词:
非极性ZnO/

γ-LiAlO2/

PLD/

透射谱
Abstract
Nonpolar a-plane (1120) ZnO films were successfully grown on (302) γ-LiAlO2 substrate by pulsed laser deposition. When the temperature of the substrate was 350℃, the film was mix-oriented(a and c) with a wide distribution of crystal grain size, and the c-plane ZnO was dominant. When the temperature of the substrate was 500℃, pure (1120) ZnO film was formed，with the FWHM of ZnO (1120) rocking curve ～0.65° and the grain size distribution narrowed. Its in-plane anisotropy was demonstrated by polarized transmission spectrum. The FWHM of the peak of near band emission in the PL spectra was found to be only 105meV for the sample with substrate temperature of 650℃，indicating the large size and uniform distribution of crystal grains which was also confirmed by AFM.

Keywords:
nonpolar ZnO/

γ-LiAlO2/

PLD/

transmission spectrum
作者及机构信息
周健华³,

周圣明²,

黄涛华³,

林辉³,

李抒智²,

邹军³,

王军²,

张荣¹

基金项目:国家自然科学基金(批准号：60676004)，上海市浦江计划(批准号：05PJ14100)和中科院百人计划资助的课题.
Authors and contacts
Zhou Jian-Hua³,

Zhou Sheng-Ming²,

Huang Tao-Hua³,

Lin Hui³,

Li Shu-Zhi²,

Zou Jun³,

Wang Jun²,

Zhang Rong¹
参考文献

施引文献

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