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    卫永霞, 钱晓梅, 俞笑竹, 叶 超, 宁兆元, 梁荣庆

    Effect of O2-doping on bonding configuration and electric properties of SiCOH films prepared by decamethylcyclopentasiloxane electron cyclotron resonance plasma

    Wei Yong-Xia, Qian Xiao-Mei, Yu Xiao-Zhu, Ye Chao, Ning Zhao-Yuan, Liang Rong-Qing
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    出版历程
    • 收稿日期:2006-06-19
    • 修回日期:2006-07-09
    • 刊出日期:2007-01-05

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