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摘要
室温下利用磁控溅射在p型Si(111)衬底上沉积了Cu薄膜. 利用X射线衍射和卢瑟福背散射分别对未退火以及在不同温度点退火后样品的结构进行了表征. 在此基础上，研究了Cu/SiO2/Si(111)体系的扩散和界面反应. 实验结果表明：当退火温度高于450℃时出现明显的扩散现象，并且随着温度的升高，体系扩散现象会更加显著. 当退火温度低于450℃时没有铜硅化合物生成，当温度达到500℃时才有铜硅化合物生成.

关键词:
薄膜/

扩散/

界面反应/

硅化物
Abstract
The Cu thin films were deposited on p-type Si (111) substrates by magnetron sputtering at room temperature. The diffusion and interface reaction of Cu/SiO2/Si (111) systems were studied for different annealing temperatures by X-ray diffraction (XRD) and Rutherford backscattering (RBS).We obtained some useful results in the following aspects：The onset temperature of interdiffusion was 450℃ for the Cu/SiO2/Si (111) systems.With the increase of annealing temperature, the interdiffusion was more apparent. There were no copper silicides formed below annealing temperature of 450℃ for the Cu/SiO2/Si (111) systems. The onset temperature of silicification was 500℃. Copper silicides were formed on the samples after annealing at 500℃.

Keywords:
thin film/

diffusion/

interface reaction/

silicides
作者及机构信息
曹博,

包良满,

李公平,

何山虎

1.

基金项目:国家自然科学基金(批准号：10375028)和甘肃省自然科学基金(批准号：ZS-031-A25-032-C)资助的课题.
Authors and contacts
Cao Bo,

Bao Liang-Man,

Li Gong-Ping,

He Shan-Hu

1.
参考文献

施引文献

[1]	廖晶晶, 蔺福军.混合手征活性粒子在时间延迟反馈下的扩散和分离. 必威体育下载 , 2020, 69(22): 220501.doi:10.7498/aps.69.20200505
[2]	李亚雄, 刘先贵, 胡志明, 高树生, 端祥刚, 常进.页岩气滑脱、扩散传输机理耦合新方法. 必威体育下载 , 2017, 66(11): 114702.doi:10.7498/aps.66.114702
[3]	张红, 牛冬梅, 吕路, 谢海鹏, 张宇河, 刘鹏, 黄寒, 高永立.2,7-二辛基[1]苯并噻吩并[3,2-b]苯并噻吩/Ni(100)的界面能级结构随薄膜厚度的演化. 必威体育下载 , 2016, 65(4): 047902.doi:10.7498/aps.65.047902
[4]	赵宁, 钟毅, 黄明亮, 马海涛, 刘小平.热迁移对Cu/Sn/Cu焊点液-固界面Cu6Sn5生长动力学的影响. 必威体育下载 , 2015, 64(16): 166601.doi:10.7498/aps.64.166601
[5]	黄明亮, 陈雷达, 周少明, 赵宁.电迁移对Ni/Sn3.0Ag0.5Cu/Au/Pd/Ni-P倒装焊点界面反应的影响. 必威体育下载 , 2012, 61(19): 198104.doi:10.7498/aps.61.198104
[6]	陆裕东, 何小琦, 恩云飞, 王歆, 庄志强.倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散. 必威体育下载 , 2010, 59(5): 3438-3444.doi:10.7498/aps.59.3438
[7]	陈德彝, 王忠龙.白交叉关联色噪声驱动的线性振子的扩散. 必威体育下载 , 2010, 59(1): 111-115.doi:10.7498/aps.59.111
[8]	吕耀平, 顾国锋, 陆华春, 戴瑜, 唐国宁.在不同扩散系数下反应扩散平面波的折射. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 2996-3000.doi:10.7498/aps.58.2996
[9]	杨春, 冯玉芳, 余毅.动力学研究AlN/α-Al2Ｏ3（0001）薄膜生长初期的吸附与扩散. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 3553-3559.doi:10.7498/aps.58.3553
[10]	张传瑜, 高涛, 张云光, 周晶晶, 朱正和, 陈波.氦对LaNi5晶体结构的影响及其扩散特性研究. 必威体育下载 , 2008, 57(7): 4379-4385.doi:10.7498/aps.57.4379
[11]	王永亮, 张超, 唐鑫, 张庆瑜.表面Cu原子间相互作用对Cu(001)表面跳跃扩散行为的影响. 必威体育下载 , 2006, 55(8): 4214-4220.doi:10.7498/aps.55.4214
[12]	冯春, 李宝河, 韩刚, 滕蛟, 姜勇, 刘泉林, 于广华.Bi底层对FePt薄膜的影响. 必威体育下载 , 2006, 55(12): 6656-6660.doi:10.7498/aps.55.6656
[13]	常福宣, 陈　进, 黄　薇.反常扩散与分数阶对流-扩散方程. 必威体育下载 , 2005, 54(3): 1113-1117.doi:10.7498/aps.54.1113
[14]	韩逸, 班春燕, 巴启先, 王书晗, 崔建忠.磁场对液态铝和固态铁界面微观组织的影响. 必威体育下载 , 2005, 54(6): 2955-2960.doi:10.7498/aps.54.2955
[15]	杨春, 余毅, 李言荣, 刘永华.温度对ZnO/Al2O3(0001)界面的吸附、扩散及生长初期模式的影响. 必威体育下载 , 2005, 54(12): 5907-5913.doi:10.7498/aps.54.5907
[16]	黄卫东, 林　鑫, 李　涛, 王琳琳, Y. Inatomi.单相合金凝固过程时间相关的界面稳定性(Ⅱ)实验对比. 必威体育下载 , 2004, 53(11): 3978-3983.doi:10.7498/aps.53.3978
[17]	林　鑫, 李　涛, 王琳琳, 苏云鹏, 黄卫东.单相合金凝固过程时间相关的界面稳定性(I)理论分析. 必威体育下载 , 2004, 53(11): 3971-3977.doi:10.7498/aps.53.3971
[18]	金进生, 夏阿根, 叶高翔.带电液体基底表面银原子的凝聚和扩散行为. 必威体育下载 , 2002, 51(9): 2144-2149.doi:10.7498/aps.51.2144
[19]	陈敏, 魏合林, 刘祖黎, 姚凯伦.沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响. 必威体育下载 , 2001, 50(12): 2446-2451.doi:10.7498/aps.50.2446
[20]	金进生, 叶高翔, 钱昌吉, 翟国庆, 叶全林, 焦正宽.金原子在熔融玻璃表面的凝聚特性. 必威体育下载 , 2001, 50(3): 544-549.doi:10.7498/aps.50.544

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