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摘要
基于经典热力学理论，对a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx三明治结构或a-Si:H/a-SiNx多层膜结构中纳米硅成核，以及从球形到鼓形的生长过程进行了研究. 建立了限制性晶化理论模型：在纳米硅生长过程中，由于界面能增大将导致生长停止，给出限制性晶化条件——a-Si:H子层厚度小于34 nm. 在激光晶化和常规热退火两种方法形成的a-SiNx/nc-Si/a-SiNx三明治结构和nc-Si/a-SiNx多层膜结构中验证了该理论模型.

关键词:
非晶硅/

纳米硅/

激光辐照/

结晶
Abstract
According to the processes of nucleation and growth of nanocrystalline silicon (nc-Si) with shape changing from sphere-like to disc-like in the a-SiNx/a-Si:H/a-SiNx sandwich structure or a-Si :H/a-SiNx multilayer structure, we have proposed the theoretical model of constrained crystallinzation based on the classical thermodynamics, in which the increase of the interfacial energy between nc-Si and a-SiNx causes the growth of nc-Si to halt, and concludes the critical thickness of a-Si sublayer (34 nm) for constrained crystallization, The model of constrained growth has been validated in a-SiNx/nc-Si/a-SiNx sandwich and nc-Si/a-SiNx multilayer structures formed by laser annealing and thermal annealing.

Keywords:
amorphous silicon/

nanocrystalline silicon/

laser irradiation/

crystallization
作者及机构信息
刘艳松,

陈铠,

乔峰,

黄信凡,

韩培高,

钱波,

马忠元,

李伟,

徐骏,

陈坤基

1.

基金项目:国家自然科学基金(批准号：60471021，90301009，60508009)、国家重点基础研究发展规划(批准号：2001CB610503)及中国科学院微系统和信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室开放课题资助项目.
Authors and contacts
Liu Yan-Song,

Chen Kai,

Qiao Feng,

Huang Xin-Fan,

Han Pei-Gao,

Qian Bo,

Ma Zhong-Yuan,

Li Wei,

Xu Jun,

Chen Kun-Ji

1.
参考文献

施引文献

[1]	刘远, 何红宇, 陈荣盛, 李斌, 恩云飞, 陈义强.氢化非晶硅薄膜晶体管的低频噪声特性. 必威体育下载 , 2017, 66(23): 237101.doi:10.7498/aps.66.237101
[2]	吴学科, 黄伟其, 董泰阁, 王刚, 刘世荣, 秦朝介.热退火、激光束和电子束等作用对纳米硅制备及其局域态发光特性的影响. 必威体育下载 , 2016, 65(10): 104202.doi:10.7498/aps.65.104202
[3]	陈剑辉, 杨静, 沈艳娇, 李锋, 陈静伟, 刘海旭, 许颖, 麦耀华.后退火增强氢化非晶硅钝化效果的研究. 必威体育下载 , 2015, 64(19): 198801.doi:10.7498/aps.64.198801
[4]	陈晓雪, 姚若河.基于表面势的氢化非晶硅薄膜晶体管直流特性研究. 必威体育下载 , 2012, 61(23): 237104.doi:10.7498/aps.61.237104
[5]	强蕾, 姚若河.非晶硅薄膜晶体管沟道中阈值电压及温度的分布. 必威体育下载 , 2012, 61(8): 087303.doi:10.7498/aps.61.087303
[6]	陈谷然, 宋超, 徐骏, 王旦清, 徐岭, 马忠元, 李伟, 黄信凡, 陈坤基.脉冲激光晶化超薄非晶硅膜的分子动力学研究. 必威体育下载 , 2010, 59(8): 5681-5686.doi:10.7498/aps.59.5681
[7]	段宝兴, 杨银堂.利用Keating模型计算Si（1-x）Gex及非晶硅的拉曼频移. 必威体育下载 , 2009, 58(10): 7114-7118.doi:10.7498/aps.58.7114
[8]	张勇, 刘艳, 吕斌, 汤乃云, 王基庆, 张红英.前端接触势垒高度对非晶硅和微晶硅异质结太阳电池的影响. 必威体育下载 , 2009, 58(4): 2829-2835.doi:10.7498/aps.58.2829
[9]	丁宏林, 刘奎, 王祥, 方忠慧, 黄健, 余林蔚, 李伟, 黄信凡, 陈坤基.控制氧化层对双势垒纳米硅浮栅存储结构性能的影响. 必威体育下载 , 2008, 57(7): 4482-4486.doi:10.7498/aps.57.4482
[10]	李世彬, 吴志明, 袁凯, 廖乃镘, 李伟, 蒋亚东.氢化非晶硅薄膜的热导率研究. 必威体育下载 , 2008, 57(5): 3126-3131.doi:10.7498/aps.57.3126
[11]	周江, 韦德远, 徐骏, 李伟, 宋凤麒, 万建国, 徐岭, 马忠元.激光晶化形成纳米硅材料的场电子发射性质研究. 必威体育下载 , 2008, 57(6): 3674-3678.doi:10.7498/aps.57.3674
[12]	姚尧, 方忠慧, 周江, 李伟, 马忠元, 徐骏, 黄信凡, 陈坤基, 宫本恭幸, 小田俊理.激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列. 必威体育下载 , 2008, 57(8): 4960-4965.doi:10.7498/aps.57.4960
[13]	王久敏, 陈坤基, 宋捷, 余林蔚, 吴良才, 李伟, 黄信凡.氮化硅介质中双层纳米硅薄膜的两级电荷存储. 必威体育下载 , 2006, 55(11): 6080-6084.doi:10.7498/aps.55.6080
[14]	黄文, 曾慧中, 张鹰, 蒋书文, 魏贤华, 李言荣.不同晶化工艺对非晶PZT纳米薄膜形核取向生长机理的影响. 必威体育下载 , 2005, 54(3): 1334-1340.doi:10.7498/aps.54.1334
[15]	邹和成, 乔峰, 吴良才, 黄信凡, 李鑫, 韩培高, 马忠元, 李伟, 陈坤基.激光干涉结晶技术制备二维有序分布纳米硅阵列. 必威体育下载 , 2005, 54(8): 3646-3650.doi:10.7498/aps.54.3646
[16]	黄凯, 王思慧, 施毅, 秦国毅, 张荣, 郑有炓.内电场对纳米硅光致发光谱的影响. 必威体育下载 , 2004, 53(4): 1236-1242.doi:10.7498/aps.53.1236
[17]	陈岁元, 刘常升, 傅贵勤, 任晓彧, 才庆魁.激光辐照非晶Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B 9微量晶化的穆斯堡尔谱研究. 必威体育下载 , 2003, 52(10): 2486-2491.doi:10.7498/aps.52.2486
[18]	张世斌, 孔光临, 徐艳月, 王永谦, 刁宏伟, 廖显伯.微量硼掺杂非晶硅的瞬态光电导衰退及其光致变化. 必威体育下载 , 2002, 51(1): 111-114.doi:10.7498/aps.51.111
[19]	张世斌, 廖显伯, 安龙, 杨富华, 孔光临, 王永谦, 徐艳月, 陈长勇, 刁宏伟.非晶微晶过渡区域硅薄膜的微区喇曼散射研究. 必威体育下载 , 2002, 51(8): 1811-1815.doi:10.7498/aps.51.1811
[20]	马书懿, 秦国刚, 尤力平, 王印月.含纳米硅和纳米锗的氧化硅薄膜光致发光的比较研究. 必威体育下载 , 2001, 50(8): 1580-1584.doi:10.7498/aps.50.1580

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