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摘要
斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系.

关键词:
斜角入射沉积/

渐变折射率/

填充系数
Abstract
Glancing angle deposition is a novel method for the preparation of coatings, it can be used to prepare graded index coatings. In this paper, the packing factor of the coatings prepared by glancing angle deposition is analyzed under the conditions that the flux arrival angle of coating material is α and the columnar microstructure inclination angle of coatings is β. And then the relation between the refractive index of the coatings, the flux arrival angle and the columnar inclination angle is discussed based on Drude theory.

Keywords:
glancing angle deposition/

graded index/

packing factor
作者及机构信息
沈自才²,

孔伟金²,

刘世杰²,

沈建²,

邵建达¹,

范正修¹
Authors and contacts
Shen Zi-Cai²,

Kong Wei-Jin²,

Liu Shi-Jie²,

Shen Jian²,

Shao Jian-Da¹,

Fan Zheng-Xiu¹
参考文献

施引文献

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