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摘要
在ZnO单晶样品中注入了能量为20—100keV、总剂量为4.4×1015cm-2的He离子.利用基于慢正电子束的多普勒展宽测量研究了离子注入产生的缺陷.结果表明，He离子注入ZnO产生了双空位或更大的空位团.在400℃以下退火后，He开始填充到这些空位团里面，造成空位团的有效体积减少.经过400℃以上升温退火后，这些空位团的尺寸开始增大，但由于有少量的He仍然占据在空位团内，因此直到800℃这些空位团仍保持稳定.高于800℃退火后，由于He的脱附，留下的空位团

关键词:
慢正电子束/

ZnO/

离子注入/

缺陷
Abstract
ZnO single crystals were implanted with He ions of energy of 20—100keV. The total implantation dose was 4.4×1015cm-2. Doppler broadening of positron annihilation spectra were measured using a slow positron beam to study the implantation-induced defects. The results suggest that after implantation, divacancies or larger vacancy clusters are produced. After annealing below 400℃, He impurity begins to occupy the vacancy clusters. Upon further annealing above 400℃, the vacancy clusters grow in size. At annealing temperature of above 800℃, He atom is released from the vacancy clusters, and the vacancies begin to recover and are annealed out at 1000℃.

Keywords:
slow positron beam/

ZnO/

ion-implantation/

defects
作者及机构信息
陈志权²,

河裾厚男¹

基金项目:国家自然科学基金(批准号：10375043，10075037)资助的课题.
Authors and contacts
Chen Zhi-Quan²,

Kawasuso Atsuo¹
参考文献

施引文献

[1]	高旭东, 杨得草, 魏雯静, 李公平.电子束对ZnO和TiO₂辐照损伤的模拟计算. 必威体育下载 , 2021, 70(23): 234101.doi:10.7498/aps.70.20211223
[2]	罗长维, 仇猛淋, 王广甫, 王庭顺, 赵国强, 华青松.利用离子激发发光研究ZnO离子注入和退火处理的缺陷变化. 必威体育下载 , 2020, 69(10): 102901.doi:10.7498/aps.69.20200029
[3]	张丽丽, 夏桐, 刘桂安, 雷博程, 赵旭才, 王少霞, 黄以能.第一性原理方法研究N-Pr共掺杂ZnO的电子结构和光学性质. 必威体育下载 , 2019, 68(1): 017401.doi:10.7498/aps.68.20181531
[4]	黄炳铨, 周铁戈, 吴道雄, 张召富, 李百奎.空位及氮掺杂二维ZnO单层材料性质:第一性原理计算与分子轨道分析. 必威体育下载 , 2019, 68(24): 246301.doi:10.7498/aps.68.20191258
[5]	徐佳楠, 陈焕铭, 潘凤春, 林雪玲, 马治, 陈治鹏.氧化锌掺钡的电子结构及其铁电性能研究. 必威体育下载 , 2018, 67(10): 107701.doi:10.7498/aps.67.20172263
[6]	杨天勇, 孔春阳, 阮海波, 秦国平, 李万俊, 梁薇薇, 孟祥丹, 赵永红, 方亮, 崔玉亭.N离子注入富氧ZnO薄膜的p型导电及拉曼特性研究. 必威体育下载 , 2013, 62(3): 037703.doi:10.7498/aps.62.037703
[7]	刘玮洁, 孙正昊, 黄宇欣, 冷静, 崔海宁.不同价态稀土元素Yb掺杂ZnO的电子结构和光学性质. 必威体育下载 , 2013, 62(12): 127101.doi:10.7498/aps.62.127101
[8]	祁宁, 王元为, 王栋, 王丹丹, 陈志权.Co掺杂纳米ZnO微结构的正电子湮没研究. 必威体育下载 , 2011, 60(10): 107805.doi:10.7498/aps.60.107805
[9]	张富春, 张威虎, 董军堂, 张志勇.Cr掺杂ZnO纳米线的电子结构和磁性. 必威体育下载 , 2011, 60(12): 127503.doi:10.7498/aps.60.127503
[10]	潘峰, 丁斌峰, 法涛, 成枫锋, 周生强, 姚淑德.Fe离子注入ZnO生成超顺磁纳米颗粒. 必威体育下载 , 2011, 60(10): 108501.doi:10.7498/aps.60.108501
[11]	臧航, 王志光, 庞立龙, 魏孔芳, 姚存峰, 申铁龙, 孙建荣, 马艺准, 缑洁, 盛彦斌, 朱亚滨.离子注入ZnO薄膜的拉曼光谱研究. 必威体育下载 , 2010, 59(7): 4831-4836.doi:10.7498/aps.59.4831
[12]	张洪华, 张崇宏, 李炳生, 周丽宏, 杨义涛, 付云翀.碳化硅中氦离子高温注入引入的缺陷及其退火行为的光谱研究. 必威体育下载 , 2009, 58(5): 3302-3308.doi:10.7498/aps.58.3302
[13]	付伟佳, 刘志文, 刘明, 牟宗信, 张庆瑜, 关庆丰, 陈康敏.离子注入Zn的Si(001)基片热氧化制备纳米ZnO团簇及其生长行为研究. 必威体育下载 , 2009, 58(8): 5693-5699.doi:10.7498/aps.58.5693
[14]	毕艳军, 郭志友, 孙慧卿, 林竹, 董玉成.Co和Mn共掺杂ZnO电子结构和光学性质的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2008, 57(12): 7800-7805.doi:10.7498/aps.57.7800
[15]	段满益, 徐明, 周海平, 陈青云, 胡志刚, 董成军.碳掺杂ZnO的电子结构和光学性质. 必威体育下载 , 2008, 57(10): 6520-6525.doi:10.7498/aps.57.6520
[16]	段满益, 徐明, 周海平, 沈益斌, 陈青云, 丁迎春, 祝文军.过渡金属与氮共掺杂ZnO电子结构和光学性质的第一性原理研究. 必威体育下载 , 2007, 56(9): 5359-5365.doi:10.7498/aps.56.5359
[17]	郝小鹏, 王宝义, 于润升, 魏龙.锆离子注入锆-4合金缺陷的慢正电子研究. 必威体育下载 , 2007, 56(11): 6543-6546.doi:10.7498/aps.56.6543
[18]	李勇, 孙成伟, 刘志文, 张庆瑜.磁控溅射ZnO薄膜生长的等离子体发射光谱研究. 必威体育下载 , 2006, 55(8): 4232-4237.doi:10.7498/aps.55.4232
[19]	杨春, 李言荣, 颜其礼, 刘永华.α-Al2O3(0001)表面原子缺陷对ZnO吸附影响. 必威体育下载 , 2005, 54(5): 2364-2368.doi:10.7498/aps.54.2364
[20]	郭宝增.用全带Monte Carlo方法模拟纤锌矿相GaN和ZnO材料的电子输运特性. 必威体育下载 , 2002, 51(10): 2344-2348.doi:10.7498/aps.51.2344

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