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摘要
利用电感耦合等离子体(ICP)装置对分子束外延(MBE)法在Sapphire衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试. 经理论分析，得到使用1次和2次检量式所确定的Zn1-xMgxO薄膜中的Mg组分的差异. 将采用1次检量式的ICP测定与EPMA测定结果进行对照，表明当Mg组分x≤0.5时二者的测试结果相当一致，由此证明ICP测试结果的正确性.

关键词:
ZnMgO薄膜/

Mg组分/

分子束外延(MBE)/

电感耦合等离子体(ICP)
Abstract
Mg contents of Zn1-xMgxO film grown on A-sapphire substrates by molecular beam epitaxy were measured by inductively coupled plasma (ICP) method. Through theoretical analysis, an expression for the difference of Mg content in Zn1-xMgxO film calculated by simple and quadratic inspection formula was given. By comparing the measured results of the ICP with electron probe microanalysis (EPMA), the consistency of ICP with simple inspection formula and EPMA was deduced when Mg content in the samples is less than 0.5, thus the correctness of the data measured by ICP was validated.

Keywords:
ZnMgO film/

Mg content/

molecular beam epitaxy (MBE)/

inductively coupled plasma (ICP)
作者及机构信息
延凤平⁵,

简水生⁴,

尾形健一¹,

小池一步²,

佐佐诚彦³,

井上正崇³,

矢野满明³
Authors and contacts
Yan Feng-Ping⁵,

Jian Shui-Sheng⁴,

Ogata K.¹,

Koike K.²,

Sasa S.³,

Inoue M.³,

Yano M.³
参考文献

施引文献

[1]	颜劭祺, 高继昆, 陈越, 马尧, 朱晓东.电子束透射氮化硅薄膜窗产生低密度等离子体. 必威体育下载 , 2024, 73(14): 144102.doi:10.7498/aps.73.20240302
[2]	宋柳琴, 贾文柱, 董婉, 张逸凡, 戴忠玲, 宋远红.容性耦合放电等离子体增强氧化硅薄膜沉积模拟研究. 必威体育下载 , 2022, 71(17): 170201.doi:10.7498/aps.71.20220493
[3]	王萌, 欧云波, 李坊森, 张文号, 汤辰佳, 王立莉, 薛其坤, 马旭村.SrTiO3(001)衬底上单层FeSe超导薄膜的分子束外延生长. 必威体育下载 , 2014, 63(2): 027401.doi:10.7498/aps.63.027401
[4]	韦庞, 李康, 冯硝, 欧云波, 张立果, 王立莉, 何珂, 马旭村, 薛其坤.在预刻蚀的衬底上通过分子束外延直接生长出拓扑绝缘体薄膜的微器件. 必威体育下载 , 2014, 63(2): 027303.doi:10.7498/aps.63.027303
[5]	聂帅华, 朱礼军, 潘东, 鲁军, 赵建华.分子束外延制备的垂直易磁化MnAl薄膜结构和磁性. 必威体育下载 , 2013, 62(17): 178103.doi:10.7498/aps.62.178103
[6]	吴渊渊, 郑新和, 王海啸, 甘兴源, 文瑜, 王乃明, 王建峰, 杨辉.高质量InGaN的等离子体辅助分子束外延生长和In的反常并入行为. 必威体育下载 , 2013, 62(8): 086101.doi:10.7498/aps.62.086101
[7]	胡懿彬, 郝智彪, 胡健楠, 钮浪, 汪莱, 罗毅.分子束外延生长InGaN/AlN量子点的组分研究. 必威体育下载 , 2012, 61(23): 237804.doi:10.7498/aps.61.237804
[8]	张兵坡, 蔡春锋, 才玺坤, 吴惠桢, 王淼.分子束外延生长[111]晶向CdTe的研究. 必威体育下载 , 2012, 61(4): 046802.doi:10.7498/aps.61.046802
[9]	苏少坚, 汪巍, 张广泽, 胡炜玄, 白安琪, 薛春来, 左玉华, 成步文, 王启明.Si(001)衬底上分子束外延生长Ge0.975Sn0.025合金薄膜. 必威体育下载 , 2011, 60(2): 028101.doi:10.7498/aps.60.028101
[10]	张燕辉, 陈平平, 李天信, 殷豪.GaAs(001)衬底上分子束外延生长InNSb单晶薄膜. 必威体育下载 , 2010, 59(11): 8026-8030.doi:10.7498/aps.59.8026
[11]	何萌, 刘国珍, 仇杰, 邢杰, 吕惠宾.用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜. 必威体育下载 , 2008, 57(2): 1236-1240.doi:10.7498/aps.57.1236
[12]	刘峰, 孟月东, 任兆杏, 舒兴胜.感应耦合等离子体增强射频磁控溅射沉积ZrN薄膜及其性能研究. 必威体育下载 , 2008, 57(3): 1796-1801.doi:10.7498/aps.57.1796
[13]	延凤平, 郑凯, 王琳, 李一凡, 龚桃荣, 简水生, 尾形健一, 小池一步, 佐佐诚彦, 井上正崇, 矢野满明.分子束外延法在Sapphire衬底上生长的Zn1－xMgxO薄膜折射率及厚度的测试. 必威体育下载 , 2007, 56(7): 4127-4131.doi:10.7498/aps.56.4127
[14]	曹春芳, 吴惠桢, 斯剑霄, 徐天宁, 陈静, 沈文忠.分子束外延PbTe单晶薄膜的反常拉曼光谱研究. 必威体育下载 , 2006, 55(4): 2021-2026.doi:10.7498/aps.55.2021
[15]	王茺, 陈平平, 刘昭麟, 李天信, 夏长生, 陈效双, 陆卫.稀掺杂GaNxAs1－x(x≤0.03)薄膜的调制光谱研究. 必威体育下载 , 2006, 55(7): 3636-3641.doi:10.7498/aps.55.3636
[16]	王晓强, 栗军帅, 陈强, 祁菁, 尹　旻, 贺德衍.电感耦合等离子体CVD低温生长硅薄膜过程中的铝诱导晶化. 必威体育下载 , 2005, 54(1): 269-273.doi:10.7498/aps.54.269
[17]	王庆学, 杨建荣, 孙涛, 魏彦锋, 方维政, 何力.Hg1－xCdxTe分子束外延薄膜晶格参数与组分关系的研究. 必威体育下载 , 2005, 54(8): 3726-3733.doi:10.7498/aps.54.3726
[18]	汪壮兵, 许小亮, 陈莹莹, 周世铭, 孔　宁, 郭　嘉, 刘洪图, 施朝淑.用电泳法制备ZnxMg1-xO薄膜及其特性研究. 必威体育下载 , 2004, 53(11): 3924-3928.doi:10.7498/aps.53.3924
[19]	易新建, 李毅, 郝建华, 张新宇, G.K.WONG.分子束外延生长Sb薄膜及其量子尺寸效应. 必威体育下载 , 1998, 47(11): 1896-1899.doi:10.7498/aps.47.1896
[20]	周国良, 陈可明, 田亮光.在Si衬底上用分子束外延低温生长Ge薄膜. 必威体育下载 , 1988, 37(10): 1607-1612.doi:10.7498/aps.37.1607

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