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摘要
研究发现在磁隧道结的反铁磁层和被钉扎铁磁层之间插入一层纳米氧化层，可以使磁隧道结的退火温度增加了40℃，即明显地提高了磁隧道结的温度稳定性.通过卢瑟福背散射实验直接观察到产生这一效应的原因是该纳米氧化层有效地抑制了Mn元素在退火过程中的扩散，从而使TMR值在较高的退火温度下得以保持.

关键词:
磁性隧道结/

　隧穿磁电阻/

　热稳定性/

　纳米氧化层
Abstract
The thermal stability is improved in a magnetic tunnel junction with a nano-oxide layer induced between the antiferromagnetic and pinned ferromagnetic layers, in which the annealing temperature is increased about 40℃. By using Rutherford backscattering spectroscopy, it has been found that the interdiffusion of Mn atoms, responsible for the decrease of TMR during the annealing process, is uppressed across such nano-oxide layer.

Keywords:
Magnetic tunnel junction/

tunneling magnetoresistance/

thermal stability/

nano-oxide layer
作者及机构信息
冯玉清²,

侯利娜¹,

朱涛²,

姚淑德¹,

詹文山²

基金项目:国家自然科学基金(批准号：50171078和50471054)和中国科学院海外杰出学者基金资助的课题.
Authors and contacts
Feng Yu-Qing²,

Hou Li-Na¹,

Zhu Tao²,

Yao Shu-De¹,

Zhan Wen-Shan²
参考文献

施引文献

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