- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要
了解含有负离子的低温等离子体的过渡特性，在等离子体控制过程中，尤其在选择性等离子体腐蚀工艺和改善电荷堆积等现象中是十分重要的课题.对电源驱动频率为1356MHz，压力为05Torr(05×10333Pa)状态下的硅烷（SiH4）低温等离子体的阶跃响应进行仿真. 当电源电压振幅从550V阶跃减小到350V时，硅烷低温等离子体表现出以数千RF周期为周期的振荡现象，等离子体中的带电粒子的运动变化决定了振荡现象的产生和振荡周期等特性.

关键词:
迁移率/

扩散系数/

阶跃响应/

等离子体振荡
Abstract
Understanding of the transient response of electronegative radio-frequency glow plasmas is important for process control, better selectivity etch technology and charge free etching. We have investigated the step responses of RF(1356MHz) silane gas plasmas at a pressure of 05 Torr(05×10333Pa). The result showed that, when the power voltage changed stepwise from 550V to 350V, a steady sta te pulsed plasma oscillation at a few kHz appeared. The transient behavior and o scillation were interpreted in terms of the transport and chemistry of charge ca rriers in the plasma.

Keywords:
mobility/

diffusion coefficient/

step-response/

plasma oscillation
作者及机构信息
杨靖,

李景镇,

孙秀泉,

龚向东

1.

基金项目:教育部留学回国人员科研启动基金资助的课题.
Authors and contacts
Yang Jing,

Li Jing-Zhen,

Sun Xiu-Quan,

Gong Xiang-Dong

1.
参考文献

施引文献

[1]	张冷, 沈宇皓, 汤朝阳, 吴孔平, 张鹏展, 刘飞, 侯纪伟.单轴应变对Sb₂Se₃空穴迁移率的影响. 必威体育下载 , 2024, 73(11): 117101.doi:10.7498/aps.73.20240175
[2]	张冷, 张鹏展, 刘飞, 李方政, 罗毅, 侯纪伟, 吴孔平.基于形变势理论的掺杂计算Sb₂Se₃空穴迁移率. 必威体育下载 , 2024, 73(4): 047101.doi:10.7498/aps.73.20231406
[3]	马奥杰, 陈颂佳, 李玉秀, 陈颖.纳米颗粒布朗扩散边界条件的分子动力学模拟. 必威体育下载 , 2021, 70(14): 148201.doi:10.7498/aps.70.20202240
[4]	楚硕, 郭春文, 王志军, 李俊杰, 王锦程.浓度相关的扩散系数对定向凝固枝晶生长的影响. 必威体育下载 , 2019, 68(16): 166401.doi:10.7498/aps.68.20190603
[5]	底琳佳, 戴显英, 宋建军, 苗东铭, 赵天龙, 吴淑静, 郝跃.基于锡组分和双轴张应力调控的临界带隙应变Ge1-xSnx能带特性与迁移率计算. 必威体育下载 , 2018, 67(2): 027101.doi:10.7498/aps.67.20171969
[6]	白敏, 宣荣喜, 宋建军, 张鹤鸣, 胡辉勇, 舒斌.压应变Ge/(001)Si1-xGex空穴散射与迁移率模型. 必威体育下载 , 2015, 64(3): 038501.doi:10.7498/aps.64.038501
[7]	孟伟东, 孙丽存, 翟影, 杨瑞芬, 普小云.用液芯柱透镜快速测量液相扩散系数-折射率空间分布瞬态测量法. 必威体育下载 , 2015, 64(11): 114205.doi:10.7498/aps.64.114205
[8]	董海明.低温下二硫化钼电子迁移率研究. 必威体育下载 , 2013, 62(20): 206101.doi:10.7498/aps.62.206101
[9]	李强, 普小云.用毛细管成像法测量液相扩散系数——等折射率薄层测量方法. 必威体育下载 , 2013, 62(9): 094206.doi:10.7498/aps.62.094206
[10]	於黄忠.空间电荷限制电流法测量共混体系中空穴的迁移率. 必威体育下载 , 2012, 61(8): 087204.doi:10.7498/aps.61.087204
[11]	骆杨, 段羽, 陈平, 臧春亮, 谢月, 赵毅, 刘式墉.利用空间电荷限制电流方法确定三(8-羟基喹啉)铝的电子迁移率特性初步研究. 必威体育下载 , 2012, 61(14): 147801.doi:10.7498/aps.61.147801
[12]	武晋泽, 唐晋娥, 董有尔, 张国峰, 王彦华.常压下气体放电等离子体振荡的实验与理论研究. 必威体育下载 , 2012, 61(19): 195208.doi:10.7498/aps.61.195208
[13]	张金风, 王平亚, 薛军帅, 周勇波, 张进成, 郝跃.高电子迁移率晶格匹配InAlN/GaN材料研究. 必威体育下载 , 2011, 60(11): 117305.doi:10.7498/aps.60.117305
[14]	陈敏.分子动力学方法研究金属Ti中He小团簇的迁移. 必威体育下载 , 2011, 60(12): 126602.doi:10.7498/aps.60.126602
[15]	王振中, 王楠, 姚文静.低扩散系数对Pd77Cu6Si17合金易非晶化的影响. 必威体育下载 , 2010, 59(10): 7431-7436.doi:10.7498/aps.59.7431
[16]	徐慧, 盛政明, 张杰.相对论效应对大振幅电子等离子体振荡破裂影响的数值模拟. 必威体育下载 , 2007, 56(2): 968-976.doi:10.7498/aps.56.968
[17]	代月花, 陈军宁, 柯导明, 孙家讹, 胡媛.纳米MOSFET迁移率解析模型. 必威体育下载 , 2006, 55(11): 6090-6094.doi:10.7498/aps.55.6090
[18]	郑永真, 齐昌炜, 丁玄同, 郦文忠.托卡马克等离子体中内部磁扰动的测量研究. 必威体育下载 , 2006, 55(1): 294-298.doi:10.7498/aps.55.294
[19]	许雪梅, 彭景翠, 李宏建, 瞿述, 罗小华.载流子迁移率对单层有机发光二极管复合效率的影响. 必威体育下载 , 2002, 51(10): 2380-2385.doi:10.7498/aps.51.2380
[20]	李志锋, 陆卫, 叶红娟, 袁先璋, 沈学础, G.Li, S.J.Chua.GaN载流子浓度和迁移率的光谱研究. 必威体育下载 , 2000, 49(8): 1614-1619.doi:10.7498/aps.49.1614

计量

文章访问数:7586
PDF下载量:484
被引次数:0

搜索

留言板

Simulation of step response of silane low-temperature pasma(1)

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Simulation of step response of silane low-temperature pasma(1)

摘要

Abstract

作者及机构信息

1.

Authors and contacts

1.

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们