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摘要
利用微波ECR全方位离子注入技术，在单晶硅（100）衬底上制备类金刚石薄膜.分析结果表明，所制备的类金刚石碳膜具有典型的类金刚石结构特征，薄膜均匀、致密，表面粗糙度小，摩擦系数小.其中，薄膜的结构和性能与氢流量比关系密切，随氢流量比的增加，薄膜的沉积速率减小，表面粗糙度降低，且生成sp3键更加趋向于金刚石结构，表面能更低，从而使摩擦系数大幅降低.

关键词:
全方位离子注入/

类金刚石碳膜/

拉曼光谱/

摩擦磨损
Abstract
Diamond-like carbon(DLC) films were prepared on silicon (100) wafer by microwave electron cyclotron resonance(MW-ECR) plasma source ion implantation(PSII). Th e results showed that the films had typical properties of DLC. The films was den se and homogeneous, and the roughness and friction coefficient was low. The conn ection between the properties of the films and the flow ratio of hydrogen was cl osely. With the increase of the flow ratio of hydrogen to methane, the depositio n rate and the roughness of the films decreased. The sp3 bond obtaine d was mor e likely diamond like, which had low surface energy, consequently making the fri ction coefficient of the films decrease rapidly.

Keywords:
plasma source ion implantation/

diamond-like carbon films/

raman spectrum/

tr ibology
作者及机构信息
高鹏,

徐军,

邓新绿,

王德和,

董闯

1.

基金项目:国家自然科学基金（批准号：50390060和50135040）资助的课题.
Authors and contacts
Gao Peng,

Xu Jun,

Deng Xin-Lu,

Wang De-He,

Dong Chuang

1.
参考文献

施引文献

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