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    赵新民, 狄国庆

    The influence of the magnetic field magnetron under the substrate on the sputtering glow and film thickness gradient

    Zhao Xin-Min, Di Guo-Qing
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    出版历程
    • 收稿日期:2003-01-17
    • 修回日期:2003-04-01
    • 刊出日期:2004-01-15

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