- 必威体育下载

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

摘要
利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备KTa065Nb035O3(KTN)薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟，并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律，对等离子体在空间膨胀的物理机制，进行了深入的讨论，给出了相应演化过程的物理图像，并揭示了等离子体羽辉在膨胀过程中呈现椭球外形的内在原因.

关键词:
脉冲激光沉积/

等离子体/

有限差分/

速度演化/

KTN薄膜
Abstract
By finite difference method, the evolvement of plasma generated by a pulsed laser is studied for pulsed laser deposition of KTa065Nb035O3(KTN) thin film. We have discussed the movement of particles in plasma in isothermal and adiabatic expansion stages in more detail. At the same time, we have simulated the change of figure of plasma at different time. Moreover, the physics mechanism in expansion of the plasma have been explained. The theoretical results are compared with our experiments and other author's conclusions.

Keywords:
pulsed laser deposition/

plasma/

finite difference/

evolvement of velocity/

KTN thin film
作者及机构信息
张端明²,

关丽²,

李智华²,

钟志成¹,

侯思普²,

杨凤霞²,

郑克玉²

基金项目:华中科技大学激光技术国家重点实验室基金(批准号：9713D)、湖北省自然科学基金(批准号：2001ABB099)、湖北省教育厅重大科技项目基金(批准号：2000B5002)和国家自然科学基金(批准号：50272022)资助的课题.
Authors and contacts
Zhang Duan-Ming²,

Guan Li²,

Li Zhi-Hua²,

Zhong Zhi-Cheng¹,

Hou Si-Pu²,

Yang Feng-Xia²,

Zheng Ke-Yu²
参考文献

施引文献

[1]	石志奇, 何晓, 刘琳, 陈德华.基于有限差分的部分饱和双重孔隙介质弹性波模拟与分析. 必威体育下载 , 2024, 73(10): 100201.doi:10.7498/aps.73.20240227
[2]	蔡颂, 陈根余, 周聪, 周枫林, 李光.脉冲激光烧蚀材料等离子体反冲压力物理模型研究与应用. 必威体育下载 , 2017, 66(13): 134205.doi:10.7498/aps.66.134205
[3]	刘月华, 陈明, 刘向东, 崔清强, 赵明文.透镜到靶材的距离对脉冲激光诱导等离子体的影响机理研究. 必威体育下载 , 2013, 62(2): 025203.doi:10.7498/aps.62.025203
[4]	王伟, 唐佳伟, 王乐天, 陈小兵.脉冲激光沉积法制备高温压电薄膜0.20 BiInO3-0.80PbTiO3（已撤稿）. 必威体育下载 , 2013, 62(23): 237701.doi:10.7498/aps.62.237701
[5]	徐韵, 李云鹏, 金璐, 马向阳, 杨德仁.脉冲激光沉积法制备的ZnO薄膜的低阈值电抽运紫外随机激射. 必威体育下载 , 2013, 62(8): 084207.doi:10.7498/aps.62.084207
[6]	高著秀, 冯春华, 杨宣宗, 黄建国, 韩建伟.微小碎片加速器同轴枪内等离子体轴向速度研究. 必威体育下载 , 2012, 61(14): 145201.doi:10.7498/aps.61.145201
[7]	王淑芳, 陈珊珊, 陈景春, 闫国英, 乔小齐, 刘富强, 王江龙, 丁学成, 傅广生.脉冲激光沉积温度及氧压对Bi2Sr2Co2Oy热电薄膜晶体结构与电输运性能的影响. 必威体育下载 , 2012, 61(6): 066804.doi:10.7498/aps.61.066804
[8]	李世帅, 冯秀鹏, 黄金昭, 刘春彦, 张仲, 陶冶微.Zn1-x-yNaxCoyO薄膜的脉冲激光沉积制备及表征. 必威体育下载 , 2011, 60(5): 057105.doi:10.7498/aps.60.057105
[9]	夏志林, 郭培涛, 薛亦渝, 黄才华, 李展望.短脉冲激光诱导薄膜损伤的等离子体爆炸过程分析. 必威体育下载 , 2010, 59(5): 3523-3530.doi:10.7498/aps.59.3523
[10]	刘婷, 谈松林, 张辉, 秦毅, 张鹏翔.氧压对SrTiO3和SrNb0.2Ti0.8O3薄膜晶格参数的影响及激光感生热电电压效应. 必威体育下载 , 2008, 57(7): 4424-4427.doi:10.7498/aps.57.4424
[11]	陈飞, 张晓丹, 赵颖, 魏长春, 孙建.硅薄膜沉积过程中等离子发光基团的一维空间分布研究. 必威体育下载 , 2008, 57(5): 3276-3280.doi:10.7498/aps.57.3276
[12]	张发荣, 张晓丹, Amanatides E., Mataras D., 赵静, 赵颖.微晶硅薄膜沉积过程中的等离子体光学与电学特性研究. 必威体育下载 , 2008, 57(5): 3022-3026.doi:10.7498/aps.57.3022
[13]	张民, 吴振森.脉冲波在空间等离子体介质中传播的矩分析及其应用. 必威体育下载 , 2007, 56(10): 5937-5944.doi:10.7498/aps.56.5937
[14]	张秋菊, 武慧春, 王兴海, 盛政明, 张杰.超短激光脉冲在等离子体中的分裂以及类孤子结构的形成. 必威体育下载 , 2007, 56(12): 7106-7113.doi:10.7498/aps.56.7106
[15]	张晓丹, 张发荣, Amanatides Elefterious, Mataras Dimitris, 赵颖.硅薄膜沉积中等离子体辉光功率和阻抗的测试分析. 必威体育下载 , 2007, 56(9): 5309-5313.doi:10.7498/aps.56.5309
[16]	杨杭生.等离子体增强化学气相沉积法制备立方氮化硼薄膜过程中的表面生长机理. 必威体育下载 , 2006, 55(8): 4238-4246.doi:10.7498/aps.55.4238
[17]	刘震, 王淑芳, 赵嵩卿, 周岳亮.利用脉冲激光沉积技术在双轴织构的Ni基带上外延CeO2薄膜. 必威体育下载 , 2005, 54(12): 5820-5823.doi:10.7498/aps.54.5820
[18]	张端明, 李莉, 李智华, 关丽, 侯思普, 谭新玉.靶材吸收率变化与烧蚀过程熔融前靶材温度分布. 必威体育下载 , 2005, 54(3): 1283-1289.doi:10.7498/aps.54.1283
[19]	傅广生, 于威, 王淑芳, 李晓苇, 张连水, 韩理.辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜. 必威体育下载 , 2001, 50(11): 2263-2268.doi:10.7498/aps.50.2263
[20]	李智华, 张端明, 陈中军, 黄明涛, 关丽, 钟志成, 李国栋.KTN薄膜脉冲激光沉积过程的机理研究. 必威体育下载 , 2001, 50(10): 1950-1955.doi:10.7498/aps.50.1950

计量

文章访问数:6747
PDF下载量:696
被引次数:0

搜索

留言板

Study on the evolvement of plasma generated by pulsed laser deposition of thin film

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们

搜索

留言板

Study on the evolvement of plasma generated by pulsed laser deposition of thin film

摘要

Abstract

作者及机构信息

Authors and contacts

参考文献

施引文献

目录

计量

出版历程

作者中心

必威betway88欢迎你

关于期刊

关于我们